[发明专利]固晶流水线在审
| 申请号： | 202110790479.3 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113539917A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 邓应铖;曾逸 | 申请（专利权）人： | 深圳市卓兴半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L33/48 |
| 代理公司： | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481 | 代理人： | 王旭 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种固晶流水线。固晶流水线包括基板传送机构、搬运机构和固晶设备；基板传送机构用于传送待要固晶的目标基板；固晶设备的数量为多个，且多个固晶设备沿基板传送机构的传送方向依次分布在基板传送机构的侧方；搬运机构用于在基板传送机构和每个固晶设备之间搬运目标基板；每个固晶设备能向被搬运至该固晶设备上的目标基板上转移安装多种晶片。与现有技术中需要在基板传送机构和多个固晶设备进行多次搬运过程的技术方案相比，本发明中的固晶流水线只需要一次搬运过程，减少了固晶工艺过程中的非晶片转移安装环节的时间消耗，可以提高工艺效率；同时，省去了在多个固晶设备之间的多次搬运的工艺环节，也相应减少了工艺错误出现的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 流水线 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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