[发明专利]固晶流水线在审
| 申请号: | 202110790479.3 | 申请日: | 2021-07-13 |
| 公开(公告)号: | CN113539917A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
| 发明(设计)人: | 邓应铖;曾逸 | 申请(专利权)人: | 深圳市卓兴半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L33/48 |
| 代理公司: | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481 | 代理人: | 王旭 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 流水线 | ||
1.一种固晶流水线,其特征在于,所述固晶流水线包括基板传送机构、搬运机构和固晶设备;
所述基板传送机构用于传送待要固晶的目标基板;所述固晶设备的数量为多个,且多个所述固晶设备沿所述基板传送机构的传送方向依次分布在所述基板传送机构的侧方;
所述搬运机构用于在基板传送机构和每个固晶设备之间搬运目标基板;
每个固晶设备能向被搬运至该所述固晶设备上的目标基板上转移安装多种晶片。
2.根据权利要求1所述的固晶流水线,其特征在于,多个固晶设备分布在所述基板传送机构的两侧。
3.根据权利要求1所述的固晶流水线,其特征在于,所述基板传送机构上传送的目标基板上的每个晶片位单元组包括n种晶片位;n≥2,且n为整数;
每个固晶设备能向被搬运至该所述固晶设备上的目标基板转移安装n种晶片,且该n种晶片与目标基板上每个晶片位单元组中的n种晶片位一一对应。
4.根据权利要求3所述的固晶流水线,其特征在于,所述基板传送机构上传送的目标基板上的每个晶片位单元组包括红色晶片位、绿色晶片位和蓝色晶片位;
每个固晶设备能向被搬运至该所述固晶设备上的目标基板转移安装三种晶片,且该三种晶片分别为红色LED芯片、绿色LED芯片和蓝色LED芯片。
5.根据权利要求1所述的固晶流水线,其特征在于,所述基板传送机构为传送带。
6.根据权利要求1~5中任意一项所述的固晶流水线,其特征在于,所述固晶设备包括载台、晶圆盘、摆臂;
所述载台用于承载所述搬运机构搬运来的目标基板,且所述载台上设置有第一驱动机构,所述第一驱动机构用于驱动放置在所述载台上的目标基板移动,使所述目标基板上的一个晶片位单元组包含的各晶片位移动至固晶工位处;
所述晶圆盘的数量为多个,每个所述晶圆盘用于放置晶圆,且至少一个晶圆盘所放置的晶圆与其他晶圆盘不同;
所述摆臂的数量为多个,每个摆臂与一个晶圆盘对应,且多个摆臂分别与目标基板的一个晶片位单元组中的多个晶片位对应;
每个摆臂具有第二驱动机构,每个所述第二驱动机构用于驱动对应的所述摆臂自所述摆臂对应的晶圆盘依次移动至固晶工位,以及自固晶工位移动至所述摆臂对应的晶圆盘;
多个所述摆臂用于分别在对应的所述晶圆盘处取晶片,以及在所述固晶工位将晶片依次转移至目标基板上的位于固晶工位的晶片位单元组的对应的晶片位上。
7.根据权利要求6所述的固晶流水线,其特征在于,所述固晶工位处设置有图像采集装置,所述图像采集装置用于采集目标基板的图像。
8.根据权利要求6所述的固晶流水线,其特征在于,所述固晶设备还包括用于控制多个所述第二驱动机构的控制机构,所述控制机构控制各摆臂在对应的第二驱动机构驱动下依次到达目标基板上的位于固晶工位的晶片位单元组中的对应的晶片位处。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





