[发明专利]机台监控方法、监控装置、存储器及机台在审
| 申请号： | 202110785174.3 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN115616969A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 王莉莉;吴雨祥 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/048 | 分类号： | G05B19/048;H01L21/67 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 董婷婷 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种机台监控方法、监控装置、存储器及机台，包括如下步骤：获取机台的在线数据；判断所述在线数据相较于目标数据是否存在偏移；当所述在线数据相较于所述目标数据存在偏移时，判断所述在线数据相较于所述目标数据的偏移是否达到报警条件，并在达到所述报警条件时报警。本申请中的机台监控方法、监控装置、存储器及机台通过当在线数据相较于目标数据存在偏移时，先判断是否达到报警条件，在达到报警条件时才报警，使得在制造生产过程中能够准确地监测到量测点出现偏移时的异常，并能够避免机台在正常工作过程中的误报警。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 监控 方法 装置 存储器 | ||
【主权项】：
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