[发明专利]机台监控方法、监控装置、存储器及机台

权利要求书

1.一种机台监控方法，其特征在于，所述机台监控方法包括：

获取机台的在线数据；

判断所述在线数据相较于目标数据是否存在偏移；

当所述在线数据相较于所述目标数据存在偏移时，判断所述在线数据相较于所述目标数据的偏移是否达到报警条件，并在达到所述报警条件时报警。

2.根据权利要求1所述的机台监控方法，其特征在于，所述在线数据包括量测机台获取的在线量测数据。

3.根据权利要求2所述的机台监控方法，其特征在于，所述在线数据包括所述量测机台获取的至少一批次晶圆的在线量测数据。

4.根据权利要求1所述的机台监控方法，其特征在于，还包括如下步骤：

当所述在线数据相较于目标数据不存在偏移或所述在线数据相较于目标数据的偏移未达到报警条件时，执行后续工序。

5.根据权利要求1所述的机台监控方法，其特征在于，所述在线数据包括膜厚、关键尺寸、电性参数、颗粒数量、制程时间、温度及湿度中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的机台监控方法，其特征在于，所述获取机台的在线数据之前还包括设置数据控制范围，所述数据控制范围包括数据上限及数据下限；判断所述在线数据相较于目标数据是否存在偏移之前还包括：

判断所述在线数据是否位于所述数据控制范围之内；

若所述在线数据位于所述数据控制范围之外，则直接报警；若所述在线数据位于所述数据控制范围之内，则执行下一步骤。

7.根据权利要求6所述的机台监控方法，其特征在于，所述获取机台的在线数据之后还包括：

根据所述在线数据及所述数据控制范围得到SPC控制图。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的机台监控方法，其特征在于，所述当所述在线数据相较于所述目标数据存在偏移时，判断所述在线数据相较于所述目标数据的偏移是否达到报警条件之前，还包括：

基于以下公式得到所述在线数据相较于所述目标数据的偏移量：

当Target＜Inline＜UpLimit时，

当LowLimit＜Inline＜Target时，

其中，Inline为所述在线数据；Target为所述目标数据；UpLimit为所述数据上限；Shift为所述在线数据相较于所述目标数据的偏移量；LowLimit为所述数据下限。

9.根据权利要求8所述的机台监控方法，其特征在于，所述判断所述在线数据相较于所述目标数据的偏移是否达到报警条件，包括：

判断所述偏移量连续大于目标偏移量的次数，当所述偏移量连续大于所述目标偏移量的次数大于预设值，则判定所述在线数据相较于所述目标数据的偏移达到报警条件。

10.根据权利要求8所述的机台监控方法，其特征在于，所述当所述在线数据相较于所述目标数据存在偏移时，判断所述在线数据相较于所述目标数据的偏移是否达到报警条件之前，还包括：

若所述在线数据大于所述目标数据，则判定所述在线数据相较于所述目标数据存在正偏移，并将所述正偏移记为正值；

若所述在线数据小于所述目标数据，则判定所述在线数据相较于所述目标数据存在负偏移，并将所述负偏移记为负值。

11.一种监控装置，其特征在于，包括：

数据采集模块，用于获取机台的在线数据；

判断模块，与所述数据采集模块相连接，至少用于判断所述在线数据相较于目标数据是否存在偏移；并在所述在线数据相较于所述目标数据存在偏移时，判断所述在线数据相较于所述目标数据的偏移是否达到报警条件，并在达到所述报警条件发出报警信号；

报警模块，与所述判断模块相连接，用于在接收到所述报警信号后报警。