[发明专利]动态随机存取存储器及其制造方法在审
| 申请号： | 202110769205.6 | 申请日： | 2021-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN115605016A | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 蔡守骐;李俊霖 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H10B12/00 | 分类号： | H10B12/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 贺财俊;刘芳 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种动态随机存取存储器及其制造方法。动态随机存取存储器包括：衬底，具有渠沟；栅介电层，位于渠沟的侧壁与底面；金属填充层，位于渠沟之中；黏着层，位于栅介电层与金属填充层之间；多个功函数层，位于渠沟中，其中每一功函数层位于栅介电层的侧壁与黏着层的侧壁之间；以及多个掺杂区，位于渠沟两侧的衬底之中，其中部分的多个功函数层与部分的栅介电层在横向上夹于部分的多个掺杂区与部分的黏着层之间。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 随机存取存储器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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