[发明专利]一种晶圆点胶缺陷检测装置及晶圆点胶缺陷检测方法在审
| 申请号： | 202110759152.X | 申请日： | 2021-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN113484325A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 李守龙;刘建华;罗强 | 申请（专利权）人： | 广东奥普特科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 韩静粉 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆点胶缺陷检测装置及晶圆点胶缺陷检测方法，所述装置包括底座、支架、移动座、传送机构、相机、光源、物料传感器以及上位机；所述传送机构用于承载并传送待检测的晶圆；所述物料传感器用于检测所述传送机构上对应所述物料传感器的位置是否有待检测的晶圆；所述相机用于采集待检测的晶圆的图像；所述光源用于对待检测的晶圆进行打光；所述上位机用于根据采集的图像判断待检测的晶圆是否存在点胶缺陷。本发明通过提供自动化装置代替人工进行点胶缺陷的检测，不仅能够节省大量的人力投入，降低生产成本，而且还具有检测效率高、精度高的特点，市场推广价值较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆点胶 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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