[发明专利]一种晶圆点胶缺陷检测装置及晶圆点胶缺陷检测方法

权利要求书

1.一种晶圆点胶缺陷检测装置，其特征在于，所述装置包括底座、支架、移动座、传送机构、相机、光源、物料传感器以及上位机；其中，

所述支架固定设置在所述底座上，所述移动座可活动地设置在所述底座上；所述传送机构、物料传感器和光源分别设置在所述支架上，且所述物料传感器设置在所述传送机构的两侧；所述相机设置在所述移动座上；

所述传送机构、光源、物料传感器、相机分别与所述上位机连接且受控于所述上位机；

所述传送机构用于承载并传送待检测的晶圆；

所述物料传感器用于检测所述传送机构上对应所述物料传感器的位置是否有待检测的晶圆；

所述相机用于采集待检测的晶圆的图像；

所述光源用于对待检测的晶圆进行打光；

所述上位机用于根据采集的图像判断待检测的晶圆是否存在点胶缺陷。

2.根据权利要求1所述的晶圆点胶缺陷检测装置，其特征在于，所述底座上开设有沿所述传送机构的传送方向延伸的活动孔；

所述移动座上设置有与所述活动孔配合且可在所述活动孔内移动的活动块；

所述活动块与所述活动孔通过连接件可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆点胶缺陷检测装置，其特征在于，所述连接件包括螺母和与所述螺母配合的螺栓。

4.根据权利要求1所述的晶圆点胶缺陷检测装置，其特征在于，所述光源为同轴光源。

5.根据权利要求1所述的晶圆点胶缺陷检测装置，其特征在于，所述物料传感器为光电开关。

6.根据权利要求1所述的晶圆点胶缺陷检测装置，其特征在于，所述传送机构包括传送带和可升降的阻挡器；

所述阻挡器设置在所述支架上且位于所述传送带上对应所述物料传感器的位置的下方，用于在升起时阻挡在所述传送带上传送的待检测的晶圆。

7.一种晶圆点胶缺陷检测方法，采用如权利要求1～6中任一项所述的晶圆点胶缺陷检测装置执行，其特征在于，所述方法包括：

所述物料传感器检测所述传送机构上对应所述物料传感器的位置是否有待检测的晶圆；

若是，则所述光源对待检测的晶圆进行打光，且所述相机采集待检测的晶圆的图像；

所述上位机根据采集的图像判断待检测的晶圆是否存在点胶缺陷。

8.根据权利要求7所述的晶圆点胶缺陷检测方法，其特征在于，在所述光源对待检测的晶圆进行打光，且所述相机采集待检测的晶圆的图像的步骤之前，所述方法包括：

所述传送带上对应所述物料传感器的位置的下方的阻挡器升起，以阻挡在所述传送带上传送的待检测的晶圆。