[发明专利]组合样品及其制备方法有效
| 申请号： | 202110734404.3 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113466268B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 董旭林;郭伟 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/04;G01N23/20025;G01N23/20058;G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 徐雯;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例公开了一种组合样品及其制备方法，其中，制备方法包括：将样品承载部放置于承载台上；所述样品承载部包括基底和至少一个格栅，所述栅格位于所述基底背离所述承载台的一侧；在所述格栅中形成凹槽；所述凹槽具有第一侧壁，所述第一侧壁与所述基底垂直；将待减薄样品粘贴于所述凹槽的第一侧壁上，得到组合样品；所述待减薄样品的粘贴面与所述基底呈第一预设角度，所述第一预设角度为锐角；利用聚焦离子束，对所述待减薄样品进行减薄处理。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 样品 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110734404.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
