[发明专利]组合样品及其制备方法

权利要求书

1.一种透射电子显微镜样品的制备方法，其特征在于，包括：

将样品承载部放置于承载台上，样品承载部的基底与承载台表面平行；所述样品承载部包括基底和至少一个格栅，所述格栅位于所述基底背离所述承载台的一侧；所述格栅包括立柱部分和圆头部分，所述立柱部分与所述基底垂直，格栅的立柱部分位于接近承载台的一侧，格栅的圆头部分位于远离承载台的一侧；

在所述格栅的圆头部分中形成凹槽；所述凹槽具有两个相互平行的第一侧壁，所述第一侧壁与所述基底垂直；所述凹槽还具有两个相互平行的第二侧壁，所述第二侧壁与所述基底垂直；

将待减薄样品的两个粘贴面分别粘贴于所述凹槽内的两个相互平行的第一侧壁上，得到透射电子显微镜样品；所述凹槽的第二侧壁与待减薄样品之间存在第二距离；所述待减薄样品的粘贴面与所述基底呈第一预设角度，所述第一预设角度为锐角；

利用聚焦离子束，对所述待减薄样品进行减薄处理。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将待减薄样品粘贴于所述凹槽的第一侧壁之前，所述方法还包括：

以所述第一侧壁内任意平行于所述基底的直线为转轴，将所述样品承载部围绕所述转轴旋转第二预设角度；

所述将待减薄样品粘贴于所述凹槽的第一侧壁上，包括：

将所述待减薄样品的粘贴面与所述第一侧壁呈第二预设角度进行粘贴，以使所述待减薄样品的粘贴面与所述基底呈所述第一预设角度；所述第二预设角度与所述第一预设角度之和为90°。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在将所述待减薄样品的粘贴面与所述第一侧壁呈所述第二预设角度进行粘贴时，通过胶填充所述待减薄样品与所述第一侧壁之间的缝隙。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一预设角度的范围为10°至20°。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述凹槽的底面与所述待减薄样品之间存在第一距离；

在利用聚焦离子束，对所述待减薄样品进行减薄处理时，在所述第一距离的作用下，使得所述的凹槽底面被所述聚焦离子束轰击出的粒子不返溅到所述待减薄样品上。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述利用聚焦离子束，对所述待减薄样品进行减薄处理，包括：

利用聚焦离子束，对所述待减薄样品的与所述第二侧壁相对的两侧面进行减薄处理。

7.一种透射电子显微镜样品，其特征在于，应用权利要求1-6任一项所述的透射电子显微镜样品的制备方法得到；所述透射电子显微镜样品包括：样品承载部和待减薄样品；其中，

所述样品承载部包括垂直的基底和至少一个格栅；所述格栅包括立柱部分和圆头部分，所述立柱部分与所述基底垂直；所述格栅的圆头部分中设置有凹槽，所述凹槽具有两个相互平行的第一侧壁，所述第一侧壁与所述基底垂直；所述凹槽还具有两个相互平行的第二侧壁，所述第二侧壁与所述基底垂直；

所述待减薄样品的两个粘贴面分别粘贴于所述凹槽内的两个相互平行的第一侧壁上；所述凹槽的第二侧壁与待减薄样品之间存在第二距离；所述待减薄样品的粘贴面与所述基底呈第一预设角度，所述第一预设角度为锐角。

8.根据权利要求7所述的透射电子显微镜样品，其特征在于，所述第一预设角度的范围为10°至20°。

9.根据权利要求7所述的透射电子显微镜样品，其特征在于，所述待减薄样品的粘贴面与所述第一侧壁呈第二预设角度；所述第二预设角度与所述第一预设角度 之和为90°。