[发明专利]一种芯片晶圆存储设备及其使用方法

摘要

本发明公开了一种芯片晶圆存储设备及其使用方法，底座底部四个角均固定安装有移动轮，底座一侧设置有两个第一操作门，底座顶部安装有顶板，底座顶部固定连接有存储保护壳，存储保护壳正面底部设置有两个第二操作门，存储保护壳正面顶部设置有两个第三操作门，存储保护壳内部中间设置有隔板，隔板将存储保护壳内腔分隔为储存腔和氮气腔，储存腔底部的顶板顶端设置有调整机构，调整机构顶部放置有四个存储机构，四个存储机构围绕调整机构的中心等角度分布，氮气腔中设置有充氮系统；采用上述结构后，能够将不同尺寸的芯片的晶圆进行储存，通过充入氮气避免晶圆的氧化。