[发明专利]一种芯片晶圆存储设备及其使用方法

说明书

本发明公开了一种芯片晶圆存储设备及其使用方法，底座底部四个角均固定安装有移动轮，底座一侧设置有两个第一操作门，底座顶部安装有顶板，底座顶部固定连接有存储保护壳，存储保护壳正面底部设置有两个第二操作门，存储保护壳正面顶部设置有两个第三操作门，存储保护壳内部中间设置有隔板，隔板将存储保护壳内腔分隔为储存腔和氮气腔，储存腔底部的顶板顶端设置有调整机构，调整机构顶部放置有四个存储机构，四个存储机构围绕调整机构的中心等角度分布，氮气腔中设置有充氮系统；采用上述结构后，能够将不同尺寸的芯片的晶圆进行储存，通过充入氮气避免晶圆的氧化。

技术领域

本发明涉及芯片原材料存储技术领域，具体涉及一种芯片晶圆存储设备及其使用方法。

背景技术

在芯片晶圆生产过程中或生产完成后，需要专门的晶圆储存装置储放晶圆以便转移或运输。

传统的晶圆存储装置为敞口结构，置于其中的晶圆长期处于与空气接触的状态，容易导致晶圆表面沾染脏污，同时也容易受到空气中氧气和水汽的影响产生氧化反应，影响到晶圆的良品率。

发明内容

为了克服上述的技术问题，本发明的目的在于提供一种芯片晶圆存储设备及其使用方法，通过充氮系统将整个存储机构中的空气排出，充入惰性气体氮气来避免晶圆与空气接触，避免了晶圆表面沾染脏污，解决了空气中氧气和水汽的影响，提升了晶圆的良品率，同时通过放置机构能够灵活的放置不同尺寸的晶圆，提升了整个设备的灵活性。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种芯片晶圆存储设备，包括底座，底座底部四个角均固定安装有移动轮,底座一侧设置有两个第一操作门，底座顶部安装有顶板，底座顶部固定连接有存储保护壳，存储保护壳正面底部设置有两个第二操作门，两个第二操作门中部均开设有观察框口，两个观察框口内部密封安装有透明塑料板，存储保护壳正面顶部设置有两个第三操作门，存储保护壳内部中间设置有隔板，隔板将存储保护壳内腔分隔为储存腔和氮气腔，储存腔底部的顶板顶端设置有调整机构，调整机构顶部放置有四个存储机构，四个存储机构围绕调整机构的中心等角度分布，氮气腔中设置有充氮系统。

作为本发明进一步的方案：充氮系统包括两个氮气存储罐，两个氮气存储罐底部两侧均对称设置有固定座，氮气存储罐通过固定座固定安装在隔板上，两个氮气存储罐底部中间均设置有排放管，一个排放管底部安装有第一电磁阀，另一个排放管底部安装有第二电磁阀，第一电磁阀和第二电磁阀底端配合连接有第一输送管，第一输送管底部中间连接有第二输送管，第二输送管下端连接有两根第三输送管，两根第三输送管交叉相互连通，两根第三输送管两端底部均安装有充气头，一根第三输送管两侧对称套接有卡箍，两个卡箍顶部均固定连接有第一气缸，两个第一气缸固定安装在隔板底面上。

作为本发明进一步的方案：调整机构包括稳定座，稳定座底部固定安装在顶板的顶面中心，且稳定座中部开设有第一安装槽，第一安装槽中固定安装有第二气缸，第二气缸的活塞杆固定连接有推柱，推柱滑动设置在稳定座侧壁开设的第一安装孔中，稳定座上套接有放置台，顶板底面对称固定安装有第一电机，两个第一电机的输出轴均贯穿顶板固定连接有第一齿轮，两个第一齿轮均与放置台轴面啮合连接，放置台顶面开设有四个第一放置槽，四个第一放置槽里侧两端均对称安装有限位玻珠。

作为本发明进一步的方案：存储机构包括存储箱，存储箱设置有密封门，存储箱顶部设置有连接座，存储箱内部两侧对称设置有若干个滑槽，两侧相对位置的滑槽均配合滑动安装有放置机构，存储箱内部顶面中间设置有挡风板，挡风板顶部与存储箱连接处设置有进气槽，存储箱内部底面中心开设有一个排气槽和两个排气孔，两个排气孔与排气槽相连通，且两个排气孔中均设置有第三电磁阀。