[发明专利]一种芯片晶圆存储设备及其使用方法

权利要求书

1.一种芯片晶圆存储设备，包括底座(1)，其特征在于，底座(1)底部四个角均固定安装有移动轮(11),底座(1)一侧设置有两个第一操作门(12)，底座(1)顶部安装有顶板(13)，底座(1)顶部固定连接有存储保护壳(2)，存储保护壳(2)正面底部设置有两个第二操作门(21)，两个第二操作门(21)中部均开设有观察框口(22)，两个观察框口(22)内部密封安装有透明塑料板，存储保护壳(2)正面顶部设置有两个第三操作门(23)，存储保护壳(2)内部中间设置有隔板(24)，隔板(24)将存储保护壳(2)内腔分隔为储存腔和氮气腔，储存腔底部的顶板(13)顶端设置有调整机构(4)，调整机构(4)顶部放置有四个存储机构(5)，四个存储机构(5)围绕调整机构(4)的中心等角度分布，氮气腔中设置有充氮系统(3)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆存储设备，其特征在于，充氮系统(3)包括两个氮气存储罐(32)，两个氮气存储罐(32)底部两侧均对称设置有固定座(31)，氮气存储罐(32)通过固定座(31)固定安装在隔板(24)上，两个氮气存储罐(32)底部中间均设置有排放管(33)，一个排放管(33)底部安装有第一电磁阀(34)，另一个排放管(33)底部安装有第二电磁阀(35)，第一电磁阀(34)和第二电磁阀(35)底端配合连接有第一输送管(36)，第一输送管(36)底部中间连接有第二输送管(37)，第二输送管(37)下端连接有两根第三输送管(38)，两根第三输送管(38)交叉相互连通，两根第三输送管(38)两端底部均安装有充气头(39)，一根第三输送管(38)两侧对称套接有卡箍(310)，两个卡箍(310)顶部均固定连接有第一气缸(311)，两个第一气缸(311)固定安装在隔板(24)底面上。

3.根据权利要求2所述的一种芯片晶圆存储设备，其特征在于，调整机构(4)包括稳定座(44)，稳定座(44)底部固定安装在顶板(13)的顶面中心，且稳定座(44)中部开设有第一安装槽，第一安装槽中固定安装有第二气缸(45)，第二气缸(45)的活塞杆固定连接有推柱(46)，推柱(46)滑动设置在稳定座(44)侧壁开设的第一安装孔中，稳定座(44)上套接有放置台(43)，顶板(13)底面对称固定安装有第一电机(41)，两个第一电机(41)的输出轴均贯穿顶板(13)固定连接有第一齿轮(42)，两个第一齿轮(42)均与放置台(43)轴面啮合连接，放置台(43)顶面开设有四个第一放置槽(431)，四个第一放置槽(431)里侧两端均对称安装有限位玻珠(432)。

4.根据权利要求3所述的一种芯片晶圆存储设备，其特征在于，存储机构(5)包括存储箱(50)，存储箱(50)设置有密封门，存储箱(50)顶部设置有连接座(51)，存储箱(50)内部两侧对称设置有若干个滑槽(54)，两侧相对位置的滑槽(54)均配合滑动安装有放置机构(55)，存储箱(50)内部顶面中间设置有挡风板(52)，挡风板(52)顶部与存储箱(50)连接处设置有进气槽(53)，存储箱(50)内部底面中心开设有一个排气槽(56)和两个排气孔(57)，两个排气孔(57)与排气槽(56)相连通，且两个排气孔(57)中均设置有第三电磁阀。

5.根据权利要求4所述的一种芯片晶圆存储设备，其特征在于，放置机构(55)包括第一放置板(551)、第二放置板(552)，第一放置板(551)顶面开设有若干个第二放置槽(553)，若干个第二放置槽(553)底部均开设有若干个环形通槽，若干个环形通槽由外侧向里侧依次排布，且直径依次减小，若干个环形通槽中均滑动安装有限位圆环(554)，若干个限位圆环(554)直径与对应的环形通槽直径相等，第一放置板(551)底面固定连接有第二放置板(552)，第二放置板(552)顶面开设有若干个第二安装槽，每个限位圆环(554)底部两侧均对称设置有调整杆(555)，若干个调整杆(555)与第二放置板(552)螺纹连接，第一放置板(551)与第二放置板(552)上均匀开设有多个通气孔。

6.一种根据权利要求1所述的芯片晶圆存储设备的使用方法，其特征在于，该芯片晶圆存储设备的使用方法，包括以下步骤:

步骤一、调整调整杆(555)，支撑限位圆环(554)，之后将晶圆依次放入第二放置槽(553)中，放满之后，将放置机构(55)推入滑槽(54)中，直至所有的放置机构(55)都放好之后，闭合密封门；

步骤二、四个存储机构(5)均存满晶圆后，依次将存储机构(5)推入第一放置槽(431)中，通过限位玻珠(432)限位；

步骤三、放置结束后，启动第一气缸(311)，带动第三输送管(38)和充气头(39)下降，直至充气头(39)插入连接座(51)为止，打开第一电磁阀(34)和第三电磁阀，将存储箱(50)内部空气排出，充入氮气；

步骤四、人工检测排气孔(57)排出的气体的氮气浓度，当氮气浓度达到设定浓度后，关闭第一电磁阀(34)和第三电磁阀，闭合第二操作门(21)，进行存储。