[发明专利]吸附机构及吸附系统在审

专利信息
申请号: 202110708390.8 申请日: 2021-06-25
公开(公告)号: CN113410174A 公开(公告)日: 2021-09-17
发明(设计)人: 吴火亮;江旭初;徐腾肖;董亚聪 申请(专利权)人: 上海隐冠半导体技术有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 代理人: 陈程;蔡继清
地址: 200135 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种吸附机构及吸附系统。本发明中,吸附机构包括:吸盘,吸盘内开设有第一气道和第二气道,且吸盘的底部开设有与第一气道相通的进气孔;吸盘内还设有与第二气道相通且贯穿吸盘的顶部的走气通道;交接装置,交接装置设置在吸盘中;交接装置具有支撑杆,且支撑杆用于在第一气道内通入气体时被气体顶出吸盘的顶部;以及;单向控制阀,设置在吸盘内,连接第一气道和第二气道;其中单向控制阀用于在第一气道内通入气体时关闭,还用于在抽出第一气道内气体时打开。与现有技术相比,使得吸附机构结构简单轻巧、整体尺寸小、且在转动中无线缆干扰,可实现大角度旋转。
搜索关键词: 吸附 机构 系统
【主权项】:
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