[发明专利]一种反应炉的炉门结构及反应炉有效
| 申请号： | 202110694283.4 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113418396B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 郝晓明;李建国;张旸 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18;F27D17/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种反应炉的炉门结构及反应炉，反应炉包括工艺管和设置在工艺管开口端的废气收集装置，炉门结构包括第一炉门、第二炉门和定位轴组件，第一炉门用于密封废气收集装置背离工艺管的端部，第二炉门用于密封工艺管靠近废气收集装置的端部，定位轴组件包括定位管、石英杆和套筒；其中，定位管套设于石英杆的一端，石英杆的另一端卡接于第二炉门；套筒套设于石英杆且位于定位管和第二炉门之间，套筒弹性连接于定位管，以与石英杆的另一端夹紧第二炉门，使第二炉门始终保持竖直状态；第一炉门设于定位管的中部。本发明涉及的反应炉的炉门结构，可以使第二炉门在运动过程中始终保持竖直状态，避免在第二炉门开启与关闭过程中与SIC桨及石英杆的刮擦与碰撞。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反应炉 炉门 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110694283.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
