[发明专利]一种反应炉的炉门结构及反应炉

说明书

本申请公开了一种反应炉的炉门结构及反应炉，反应炉包括工艺管和设置在工艺管开口端的废气收集装置，炉门结构包括第一炉门、第二炉门和定位轴组件，第一炉门用于密封废气收集装置背离工艺管的端部，第二炉门用于密封工艺管靠近废气收集装置的端部，定位轴组件包括定位管、石英杆和套筒；其中，定位管套设于石英杆的一端，石英杆的另一端卡接于第二炉门；套筒套设于石英杆且位于定位管和第二炉门之间，套筒弹性连接于定位管，以与石英杆的另一端夹紧第二炉门，使第二炉门始终保持竖直状态；第一炉门设于定位管的中部。本发明涉及的反应炉的炉门结构，可以使第二炉门在运动过程中始终保持竖直状态，避免在第二炉门开启与关闭过程中与SIC桨及石英杆的刮擦与碰撞。

技术领域

本发明属于半导体技术领域，更具体地，涉及一种反应炉的炉门结构及反应炉。

背景技术

卧式扩散炉是半导体生产线上进行扩散工艺的重要工艺设备，主要由加热炉体、石英管、气路系统、取送料装置等组成。带炉门机构的悬臂推拉舟是反应炉的重要装置，炉门机构用于密封石英管和气路系统中的废气收集箱。如图1所示，在将待加工的晶圆送入反应腔室的过程中，步进电机11通过螺旋传动系统12驱动台架1朝石英管方向做直线运动，固定于台架1上的SIC桨8将装载的硅片自动放入石英管14内，同时炉门机构13与石英管14接触进而实现炉门关闭操作，待工艺进程结束后，悬臂推拉舟反向直线运动取出完成工艺流程的硅片，同时炉门随悬臂推拉舟反向运动而开启。

现有技术中，炉门机构包括金属炉门和石英炉门，石英炉门通过孔轴配合安装于与台架1连接的石英杆上。炉门关闭和开启的过程中，石英炉门接触石英管14而没有完全贴合时，石英炉门与竖直平面之间存在一定夹角，从而导致石英炉门与SIC桨以及石英杆发生刮擦与碰撞，造成零件磨损，寿命降低。

因此，需要设计一种新型的反应炉的炉门结构，能够避免反应炉的炉门开启过程中，石英炉门与SIC桨及石英杆发生刮擦与碰撞，提高炉门、石英杆及SIC桨的使用寿命。

发明内容

本发明的目的是提供一种反应炉的炉门结构及反应炉，能够避免反应炉的炉门开启过程中石英炉门与SIC桨及石英杆发生刮擦与碰撞，提高炉门、石英杆及SIC桨的使用寿命。

为了实现上述目的，本发明提供一种反应炉的炉门结构，所述反应炉包括连通的工艺管和设置在所述工艺管开口端的废气收集装置，所述炉门结构包括第一炉门、第二炉门和定位轴组件，所述第一炉门用于密封所述废气收集装置背离所述工艺管的端部，所述第二炉门用于密封所述工艺管靠近所述废气收集装置的端部，所述定位轴组件包括定位管、石英杆和套筒；其中，

所述定位管套设于所述石英杆的一端；

所述石英杆的另一端卡接于所述第二炉门；

所述套筒套设于所述石英杆且位于所述定位管和所述第二炉门之间，所述套筒弹性连接于所述定位管，以与所述石英杆的所述另一端夹紧所述第二炉门；

所述第一炉门设于所述定位管的中部。

优选地，所述定位轴组件还包括第一弹性元件，所述定位管内设有沿轴向贯穿所述定位管的阶梯通孔，包括大径孔段和小径孔段，所述石英杆穿过所述小径孔段，所述套筒插设于所述大径孔段内，所述第一弹性元件套设于所述石英杆，所述第一弹性元件的两端分别连接于所述大径孔段的孔底和所述套筒的端部。

优选地，所述第二炉门由石英制成，所述第二炉门朝向所述石英杆的表面设有葫芦形孔，所述葫芦形孔包括大孔和小孔，所述第二炉门上设有与所述葫芦形孔相对应的卡接槽。

优选地，所述石英杆的所述另一端设有柱形的凸台，所述石英杆的所述凸台能够穿过所述大孔至所述卡接槽内并被所述小孔卡住。

优选地，所述葫芦形孔的所述大孔的直径大于所述凸台的外径，所述小孔的直径小于所述凸台的外径。