[发明专利]一种反应炉的炉门结构及反应炉有效
| 申请号: | 202110694283.4 | 申请日: | 2021-06-22 |
| 公开(公告)号: | CN113418396B | 公开(公告)日: | 2023-05-16 |
| 发明(设计)人: | 郝晓明;李建国;张旸 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号: | F27D1/18 | 分类号: | F27D1/18;F27D17/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人: | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 反应炉 炉门 结构 | ||
1.一种反应炉的炉门结构,所述反应炉包括工艺管和设置在所述工艺管开口端的废气收集装置,所述炉门结构包括第一炉门(3)、第二炉门(5)和定位轴组件,所述第一炉门(3)用于密封所述废气收集装置背离所述工艺管的端部,所述第二炉门(5)用于密封所述工艺管靠近所述废气收集装置的端部,其特征在于,所述定位轴组件包括定位管(2)、石英杆(4)和套筒(6);其中,
所述定位管(2)套设于所述石英杆(4)的一端;
所述石英杆(4)的另一端卡接于所述第二炉门(5);
所述套筒(6)套设于所述石英杆(4)且位于所述定位管(2)和所述第二炉门(5)之间,所述套筒(6)弹性连接于所述定位管(2),以与所述石英杆(4)的所述另一端夹紧所述第二炉门(5),使所述第二炉门(5)始终保持竖直状态;
所述第一炉门(3)设于所述定位管(2)的中部;
所述定位轴组件还包括第一弹性元件(7),所述第一弹性元件(7)的两端分别连接于所述定位管(2)和所述套筒(6),用于向套筒(6)提供推力。
2.根据权利要求1所述的反应炉的炉门结构,其特征在于,所述定位管(2)内设有沿轴向贯穿所述定位管(2)的阶梯通孔,包括大径孔段和小径孔段,所述石英杆(4)穿过所述小径孔段,所述套筒(6)插设于所述大径孔段内,所述第一弹性元件(7)套设于所述石英杆(4),所述第一弹性元件(7)的两端分别连接于所述大径孔段的孔底和所述套筒(6)的端部。
3.根据权利要求2所述的反应炉的炉门结构,其特征在于,所述第二炉门(5)由石英制成,所述第二炉门(5)朝向所述石英杆(4)的表面设有葫芦形孔,所述葫芦形孔包括大孔和小孔,所述第二炉门(5)上设有与所述葫芦形孔相对应的卡接槽(51),所述石英杆(4)的另一端卡接于所述卡接槽(51)内。
4.根据权利要求3所述的反应炉的炉门结构,其特征在于,所述石英杆(4)的所述另一端设有柱形的凸台,所述石英杆(4)的所述凸台能够穿过所述大孔至所述卡接槽(51)内并被所述小孔卡住。
5.根据权利要求4所述的反应炉的炉门结构,其特征在于,所述葫芦形孔的所述大孔的直径大于所述凸台的外径,所述小孔的直径小于所述凸台的外径。
6.根据权利要求4所述的反应炉的炉门结构,其特征在于,所述套筒(6)为石英制成,所述套筒(6)的所述另一端设有轴肩,所述轴肩的端面与所述第二炉门(5)的表面紧密贴合。
7.根据权利要求6所述的反应炉的炉门结构,其特征在于,所述轴肩的外径大于所述葫芦形孔的所述小孔的直径。
8.根据权利要求1所述的反应炉的炉门结构,其特征在于,所述第一炉门(3)和所述第二炉门(5)上均设有桨孔,用于连接所述反应炉的SIC桨(8)。
9.根据权利要求1所述的反应炉的炉门结构,其特征在于,所述定位轴组件还包括第二弹性元件(9)和定位圆板(10),所述第二弹性元件(9)套设于所述定位管(2)的外壁,一端连接于所述定位管(2)的远离所述第二炉门(5)的一端,另一端连接于所述第一炉门(3),所述定位圆板(10)套设于所述定位管(2)的外壁且与所述第一炉门(3)朝向所述第二炉门(5)的表面相贴合。
10.根据权利要求1所述的反应炉的炉门结构,其特征在于,所述定位轴组件为一对,一对所述定位轴组件平行设置于所述反应炉的台架(1)上。
11.一种反应炉,其特征在于,包括权利要求1-10中任一项所述的反应炉的炉门结构、工艺管和设置在所述工艺管开口端的废气收集装置,所述第一炉门(3)用于密封所述废气收集装置背离所述工艺管的一端,所述第二炉门(5)用于密封所述工艺管靠近所述废气收集装置的一端。
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