[发明专利]蒸发源及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202110666844.X | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113373412B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 郑子明 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种蒸发源及蒸镀设备。所述蒸发源包括容器、加热装置、冷却装置以及导热件。所述加热装置设于所述容器外侧，并且所述加热装置环绕所述容器设置。所述冷却装置环绕所述加热装置，所述加热装置与所述冷却装置之间具有一空隙。所述导热件设于所述空隙中，并与所述加热装置和所述冷却装置连接。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
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