[发明专利]蒸发源及蒸镀设备

说明书

本发明提供了一种蒸发源及蒸镀设备。所述蒸发源包括容器、加热装置、冷却装置以及导热件。所述加热装置设于所述容器外侧，并且所述加热装置环绕所述容器设置。所述冷却装置环绕所述加热装置，所述加热装置与所述冷却装置之间具有一空隙。所述导热件设于所述空隙中，并与所述加热装置和所述冷却装置连接。

技术领域

本发明涉及薄膜制造技术领域，特别是一种蒸发源及蒸镀设备。

背景技术

OLED(OrganicLight-Emitting Diode，有机发光二极管)器件由于具有主动发光，宽视角，亮度高，对比度高，响应速度快，以及可柔性化等特点，已成为有望代替LCD(LiquidCrystal Display，液晶显示屏)的下一代新型显示技术。

目前，制备OLED显示器件主流的主要方式是真空加热蒸发镀膜，即在真空腔体内使用蒸发源加热容器内的材料，使其在一定温度下升华或者熔融汽化成蒸汽，透过金属掩膜板上的开孔沉积在基板上。

蒸镀过程中，蒸发源通过加热系统及冷却系统保持温度及速率稳定，加热系统与冷却系统组成了一个典型的热交换系统。但在实际应用场景中，由于加热系统及冷却系统间温差过大，造成大量材料蒸汽在水冷套筒内壁沉积，使得热交换效率降低，造成蒸发源降温或速率稳定时间大大延长，影响生产稼动率。同时，由于该单元不易清洗也给后续重复利用带来困难。

发明内容

本发明的目的是提供一种蒸发源及蒸镀设备，以解决现有技术中蒸发源的冷却系统上容易沉积蒸镀材料而影响降温效果，从而导致蒸镀速率的不稳定以及沉积的材料难以清洗等技术问题。

为实现上述目的，本发明提供一种蒸发源，所述蒸发源包括容器、加热装置、冷却装置以及导热件。所述加热装置设于所述容器外侧，并且环绕所述容器设置。所述冷却装置环绕所述加热装置，所述加热装置与所述冷却装置之间具有一空隙。所述导热件设于所述空隙中，并与所述加热装置和/或所述冷却装置连接。

进一步地，所述蒸发源还包括附着网，所述附着网可拆卸式设于所述导热件的表面上。

进一步地，所述导热件上具有开口，所述开口贯穿所述导热件。

进一步地，所述开口沿所述容器的径向或轴向，从所述导热件的一端向所述导热件另一端延伸。当所述导热件具有两片及两个以上时，所述开口均匀分布在所述导热件上。

进一步地，所述导热件采用导热系数大于400W/m·k的材料。

进一步地，当所述导热件的数量为两片及两个以上时，所述导热件围绕所述容器的轴向均匀分布在所述空隙中。

进一步地，所述加热装置包括热反射板和加热丝。所述加热丝围绕在所述容器的外壁上。所述热反射板设于所述加热丝远离所述容器的一侧。

进一步地，所述冷却装置包括中空套筒和冷却源。所述中空套筒环绕所述加热装置。所述冷却源设于所述中空套筒中。

进一步地，所述空隙具有一底端宽度和一顶端宽度，所述底端宽度小于所述顶端宽度。

本发明中还提供一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括如上所述的蒸发源。

本发明的优点是：本发明的一种蒸发源及蒸镀设备，其通过在加热装置与冷却装置之间增设导热件，提高加热装置与冷却装置之间的换热效率，缩小了冷却装置与加热装置之间的温度差，从而减少蒸镀材料冷凝在冷却装置上，减少了清洗沉积物的麻烦。并且，沉积物的减少和导热件的设置都能加快降温速度，提高冷却装置的降温效果，实现快速稳定降温，减少降温的时间。而附着网的设置也能进一步的减少蒸镀材料冷凝在冷却装置上，并且还便于沉积物的清理，进一步减少清洗设备的困难。

附图说明