[发明专利]蒸发源及蒸镀设备有效
| 申请号： | 202110666844.X | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN113373412B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 郑子明 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 设备 | ||
1.一种蒸发源，其特征在于，包括：
容器；
加热装置，设于所述容器外侧，并且所述加热装置环绕所述容器设置；
冷却装置，环绕所述加热装置，所述加热装置与所述冷却装置之间具有一空隙；
导热件，设于所述空隙中，并与所述加热装置和/或所述冷却装置连接。
2.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，还包括：
附着网，可拆卸式设于所述导热件的表面上。
3.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述导热件上具有开口，所述开口贯穿所述导热件。
4.如权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述开口沿所述容器的径向或轴向，从所述导热件的一端向所述导热件另一端延伸；
当所述导热件具有两片及两个以上时，所述开口均匀分布在所述导热件上。
5.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述导热件采用导热系数大于400W/m·k的材料。
6.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，当所述导热件的数量为两片及两个以上时，所述导热件围绕所述容器的轴向均匀分布在所述空隙中。
7.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述加热装置包括：
加热丝，围绕在所述容器的外壁上；
热反射板，设于所述加热丝远离所述容器的一侧。
8.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述冷却装置包括：
中空套筒，环绕所述加热装置；
冷却源，设于所述中空套筒中。
9.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述空隙具有一底端宽度和一顶端宽度，所述底端宽度小于所述顶端宽度。
10.一种蒸镀设备，其特征在于，如权利要求1-9中任意一项所述的蒸发源。
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