[发明专利]对准标记结构在审
| 申请号： | 202110655029.3 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN114566486A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 魏旭志;黄尧峰;温文莹 | 申请（专利权）人： | 新唐科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 薛平;郝博 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种对准标记结构，包括基底、透光层与反射层。透光层设置在基底上。反射层覆盖透光层的整个顶面。反射层具有凹部。上述对准标记结构可防止干扰信号产生。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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