[发明专利]一种铝钪靶材样品的制备方法在审
| 申请号： | 202110640369.9 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113532979A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 冉成义;蔡新志;苏紫珊;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铝钪靶材样品的制备方法，涉及半导体靶材技术领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：(1)在铝钪靶坯上标记待取样区；(2)将所述待取样区剪切后，进行矫平得到样品A；(3)采用金相研磨机研磨所述样品A；(4)保留研磨后的光亮区域，得到样品B；(5)将所述样品B剪碎；(6)依次进行超声清洗、无水乙醇漂洗、干燥。本发明技术方案通过对铝钪靶坯经标记后取样，待取样区部分被剪切后，再经过研磨、筛选、剪碎、筛选、超声清洗、无水乙醇漂洗、干燥后得到铝钪靶材样品能够更加真实客观的反应铝钪合金靶材的理化参数，从而节约了因样品复测而耗费的时间，并降低了因样品复测而增加的检测费用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝钪靶材 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
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