[发明专利]一种铝钪靶材样品的制备方法

说明书

本发明提供了一种铝钪靶材样品的制备方法，涉及半导体靶材技术领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：(1)在铝钪靶坯上标记待取样区；(2)将所述待取样区剪切后，进行矫平得到样品A；(3)采用金相研磨机研磨所述样品A；(4)保留研磨后的光亮区域，得到样品B；(5)将所述样品B剪碎；(6)依次进行超声清洗、无水乙醇漂洗、干燥。本发明技术方案通过对铝钪靶坯经标记后取样，待取样区部分被剪切后，再经过研磨、筛选、剪碎、筛选、超声清洗、无水乙醇漂洗、干燥后得到铝钪靶材样品能够更加真实客观的反应铝钪合金靶材的理化参数，从而节约了因样品复测而耗费的时间，并降低了因样品复测而增加的检测费用。

技术领域

本发明涉及半导体靶材技术领域，特别涉及一种铝钪靶材样品的制备方法。

背景技术

铝钪合金靶材作为应用在5G滤波器上面的半导体靶材，对其本身的各项杂质元素的含量，特别是氧元素含量及相应的杂质组分含量有着严格的要求。因此，如何稳定地制备出能客观真实的反映靶材参数的样品至关重要。但是目前取样方法存在检测结果不稳定，可重复性差，样品复测频次高以及检测时间长等缺陷，目前尚无一种针对铝钪靶材的稳定可靠的取样方法。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种铝钪靶材样品的制备方法，旨在解决传统取样方法制备铝钪靶材样品存在检测结果不稳定，可重复性差，样品复测频次高以及检测时间长的问题。

为实现上述目的，本发明提出了一种铝钪靶材样品的制备方法，包括以下步骤：

(1)在铝钪靶坯上标记待取样区，打磨所述待取样区的表皮，再吹扫所述待取样区表面的碎屑；

(2)将所述待取样区剪切后，进行矫平得到样品A；

(3)采用金相研磨机研磨所述样品A；

(4)将经步骤(3)处理后的样品A的未研磨区域剪切后，保留研磨后的光亮区域，得到样品B；

(5)将所述样品B剪碎后，去除含有孔洞的样品；

(6)将经步骤(5)处理后的所述样品B依次进行超声清洗、无水乙醇漂洗、干燥后得到所述铝钪靶材样品。

本发明技术方案中，铝钪靶坯经标记后取样，待取样区部分被剪切后，再经过研磨、筛选、剪碎、筛选、超声清洗、无水乙醇漂洗、干燥后得到铝钪靶材样品能够更加真实客观的反应铝钪合金靶材的理化参数，从而节约了因样品复测而耗费的时间，并降低了因样品复测而增加的检测费用。

作为本发明所述铝钪靶材样品的制备方法的优选实施方式，所述步骤(1)中待取样区为铝钪靶坯顶部边缘的突起部分，所述待取样区表面平滑无凹坑。

本发明技术方案中，铝钪靶坯的取样位置如图1所示，铝钪合金靶坯顶端端面的左、右、前三个方向有凸起，后面一般没有凸起，其原因如下：铝钪合金靶坯在铸造的过程中，熔化金属的坩埚会向前倾转，金属熔体随之被倾倒在铸造模具中，此时，由于金属熔体落入模具的瞬间会有飞溅，飞溅起来的金属熔体碰到左、右、前三个方向的模具后，瞬间冷却贴在模具上面形成凸起，而后面的模具因为距离金属熔体的落点远而无法形成凸起。因此，本发明中待取样区对应图1中左、右、前三个方向的边缘突起部位。

作为本发明所述铝钪靶材样品的制备方法的优选实施方式，所述步骤(3)中研磨过程需通水冷却，防止样品发热氧化。

作为本发明所述铝钪靶材样品的制备方法的优选实施方式，所述步骤(3)中金相研磨机研磨过程中采用120#和/或320#砂纸，转速为400-600rpm。

本发明技术方案中，采用120#砂纸可快速将样品的表皮磨掉，再配合采用320#砂纸进行研磨，可以去除较深划痕及划痕里面残留的砂砾。