[发明专利]一种铝钪靶材样品的制备方法在审
| 申请号： | 202110640369.9 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113532979A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 冉成义;蔡新志;苏紫珊;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铝钪靶材 样品 制备 方法 | ||
1.一种铝钪靶材样品的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)在铝钪靶坯上标记待取样区，打磨所述待取样区的表皮，再吹扫所述待取样区表面的碎屑；
(2)将所述待取样区剪切后，进行矫平得到样品A；
(3)采用金相研磨机研磨所述样品A；
(4)将经步骤(3)处理后的样品A的未研磨区域剪切后，保留研磨后的光亮区域，得到样品B；
(5)将所述样品B剪碎后，去除含有孔洞的样品；
(6)将经步骤(5)处理后的所述样品B依次进行超声清洗、无水乙醇漂洗、干燥后得到所述铝钪靶材样品。
2.如权利要求1所述的铝钪靶材样品的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中待取样区为铝钪靶坯顶部边缘的突起部分，所述待取样区表面平滑无凹坑。
3.如权利要求1所述的铝钪靶坯样品的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中研磨过程需通水冷却，防止样品发热氧化。
4.如权利要求1或3所述的铝钪靶坯样品的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中金相研磨机研磨过程中采用120#和/或320#砂纸，转速为400-600rpm。
5.如权利要求1所述的铝钪靶坯样品的制备方法，其特征在于，所述步骤(6)中超声清洗的处理方式为：将所述样品B装入盛有无水乙醇的自封袋中，使所述样品B浸泡于无水乙醇中进行超声清洗，超声时间为5-10min。
6.如权利要求1所述的铝钪靶坯样品的制备方法，其特征在于，所述步骤(6)中无水乙醇漂洗的处理方式为：将经超声清洗后的样品B装入盛有无水乙醇的自封袋中，使所述样品B浸泡于无水乙醇中进行漂洗，漂洗时间为5-10min。
7.如权利要求1所述的铝钪靶坯样品的制备方法，其特征在于，所述步骤(6)中干燥的处理方式为：无纺布吸水纸处理后，再采用高压气枪吹扫所述样品B。
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