[发明专利]防着板及其制备方法、蒸镀设备有效
| 申请号： | 202110636638.4 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113373421B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 魏振业;曾诚;陈立;张宏伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 陈敏;吴昊 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种防着板及其制备方法、蒸镀设备，该防着板包括：基板以及覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层；其中，所述基板包括：衬底；间隔设置于所述衬底上方的多个凸台；其中，所述多个凸台在所述衬底上方的排布密度沿预设方向逐渐增大；所述凸台的尺寸以及任意相邻两个所述凸台之间的间距均为微米级；所述疏水疏油涂层的厚度小于所述凸台的厚度。该防着板通过凸台排布密度的变化以及疏水疏油涂层的覆盖，形成表面能梯度，使得熔融的蒸镀材料可以从高表面能(凸台排布密度小的)区域流向低表面能(凸台排布密度大的)区域，从而实现定向流动，便于收集与回收蒸镀材料，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 防着 及其 制备 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110636638.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可调节的洗车装置
- 下一篇：一种用于电催化还原CO
- 同类专利
- 专利分类
