[发明专利]防着板及其制备方法、蒸镀设备

说明书

本申请提供了一种防着板及其制备方法、蒸镀设备，该防着板包括：基板以及覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层；其中，所述基板包括：衬底；间隔设置于所述衬底上方的多个凸台；其中，所述多个凸台在所述衬底上方的排布密度沿预设方向逐渐增大；所述凸台的尺寸以及任意相邻两个所述凸台之间的间距均为微米级；所述疏水疏油涂层的厚度小于所述凸台的厚度。该防着板通过凸台排布密度的变化以及疏水疏油涂层的覆盖，形成表面能梯度，使得熔融的蒸镀材料可以从高表面能(凸台排布密度小的)区域流向低表面能(凸台排布密度大的)区域，从而实现定向流动，便于收集与回收蒸镀材料，降低生产成本。

技术领域

本申请涉及蒸镀技术领域，具体涉及一种防着板及其制备方法、蒸镀设备。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)作为一种新型的纯固体显示技术，具备之前的技术优势，并具有独特的自发光、超轻薄、响应快、宽视角等优点被广泛关注，OLED显示技术已被广泛的研究、生产。OLED显示屏中有机发光层的制备，通常是采用真空蒸镀技术，在蒸镀腔室内，通过加热坩埚中的蒸镀材料，使其蒸发并沉积在目标面板上，但是工艺过程中，蒸发的蒸镀材料只有极少数(2％左右)沉积在目标面板上，剩余的约98％的蒸镀材料会沉积在蒸镀腔室的腔壁上，不仅污染了蒸镀腔室，而且造成大量的蒸镀材料的浪费，增加了生产成本。

发明内容

针对上述问题，本申请提供了一种防着板及其制备方法、蒸镀设备，解决了现有技术中大部分蒸镀材料附着在了蒸镀腔室内部的造成材料浪费、增加生产成本的技术问题。

第一方面，本申请提供一种防着板，包括基板以及覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层；

其中，所述基板包括：

衬底；

间隔设置于所述衬底上方的多个凸台；

其中，所述多个凸台在所述衬底上方的排布密度沿预设方向逐渐增大；所述凸台的尺寸以及任意相邻两个所述凸台之间的间距均为微米级；所述疏水疏油涂层的厚度小于所述凸台的厚度。

在一些实施例中，上述防着板中，所述多个凸台呈阵列排布。

在一些实施例中，上述防着板中，所述疏水疏油涂层的材料包括含氟聚合物和分散于所述含氟聚合物中的纳米微球。

在一些实施例中，上述防着板中，所述疏水疏油涂层包括依次层叠设置于所述基板上表面的第一功能层和第二功能层；

其中，所述第一功能层中所述纳米微球的质量百分比小于所述第二功能层中所述纳米微球的质量百分比。

在一些实施例中，上述防着板中，所述第二功能层中，所述纳米微球的质量百分比为15％至50％。

在一些实施例中，上述防着板中，所述纳米微球至少包括纳米三氧化二铝、纳米二氧化硅和纳米碳管中的一种。

在一些实施例中，上述防着板中，所述含氟聚合物包括全氟乙烯丙烯共聚物、聚二甲基硅氧烷和聚亚苯基硫醚。

在一些实施例中，上述防着板中，所述疏水疏油涂层上表面对水的接触角大于150°，对油的接触角大于150°。

第二方面，本申请提供一种防着板的制备方法，包括：

提供基板；其中，所述基板包括衬底以及间隔设置于所述衬底上方的多个凸台；所述多个凸台在所述衬底上方的排布密度沿预设方向逐渐减大；所述凸台的尺寸以及任意相邻两个所述凸台之间的间距均为微米级；

对所述基板的上表面进行活化处理，得到活化的所述基板；

形成疏水疏油前驱体；