[发明专利]防着板及其制备方法、蒸镀设备有效

专利信息
申请号: 202110636638.4 申请日: 2021-06-08
公开(公告)号: CN113373421B 公开(公告)日: 2022-11-18
发明(设计)人: 魏振业;曾诚;陈立;张宏伟 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04
代理公司: 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 代理人: 陈敏;吴昊
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 防着 及其 制备 方法 设备
【权利要求书】:

1.一种防着板,其特征在于,包括基板以及覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层;

其中,所述基板包括:

衬底;

间隔设置于所述衬底上方的多个凸台;

其中,所述多个凸台在所述衬底上方的排布密度沿预设方向逐渐增大;所述凸台的尺寸以及任意相邻两个所述凸台之间的间距均为微米级;所述疏水疏油涂层的厚度小于所述凸台的厚度。

2.根据权利要求1所述的防着板,其特征在于,所述多个凸台呈阵列排布。

3.根据权利要求1所述的防着板,其特征在于,所述疏水疏油涂层的材料包括含氟聚合物和分散于所述含氟聚合物中的纳米微球。

4.根据权利要求3所述的防着板,其特征在于,所述疏水疏油涂层包括依次层叠设置于所述基板上表面的第一功能层和第二功能层;

其中,所述第一功能层中所述纳米微球的质量百分比小于所述第二功能层中所述纳米微球的质量百分比。

5.根据权利要求4所述的防着板,其特征在于,所述第二功能层中,所述纳米微球的质量百分比为15%至50%。

6.根据权利要求3所述的防着板,其特征在于,所述纳米微球至少包括纳米三氧化二铝、纳米二氧化硅和纳米碳管中的一种。

7.根据权利要求3所述的防着板,其特征在于,所述含氟聚合物包括全氟乙烯丙烯共聚物、聚二甲基硅氧烷和聚亚苯基硫醚。

8.根据权利要求1所述的防着板,其特征在于,所述疏水疏油涂层上表面对水的接触角大于150°,对油的接触角大于150°。

9.一种防着板的制备方法,其特征在于,包括:

提供基板;其中,所述基板包括衬底以及间隔设置于所述衬底上方的多个凸台;所述多个凸台在所述衬底上方的排布密度沿预设方向逐渐减大;所述凸台的尺寸以及任意相邻两个所述凸台之间的间距均为微米级;

对所述基板的上表面进行活化处理,得到活化的所述基板;

形成疏水疏油前驱体;

将所述疏水疏油前驱体涂覆于活化的所述基板上表面,形成覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层;其中,所述疏水疏油涂层的厚度小于所述凸台的厚度。

10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,对所述基板的上表面进行活化处理,得到活化的所述基板,包括以下步骤:

采用表面活性剂对所述基板的上表面进行活化处理,得到活化的所述基板。

11.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,形成疏水疏油前驱体,包括以下步骤:

提供纳米微球,并对所述纳米微球进行疏水预处理和疏油预处理,得到疏水疏油的所述纳米微球;

提供含氟聚合物,并将所述含氟聚合物溶解于有机溶剂中,得到所述含氟聚合物的混合液;

将疏水疏油的所述纳米微球与所述含氟聚合物的混合液混合,得到疏水疏油前驱体。

12.根据权利要求11所述的制备方法,其特征在于,所述疏水疏油前驱体包括第一前驱体和第二前驱体;

其中,所述第一前驱体中所述纳米微球的质量百分比小于所述第二前驱体中所述纳米微球的质量百分比。

13.根据权利要求12所述的制备方法,其特征在于,所述疏水疏油涂层包括依次层叠设置于所述基板上表面的第一功能层和第二功能层;

将所述疏水疏油前驱体涂覆于活化的所述基板上表面,形成覆盖所述基板上表面的疏水疏油涂层,包括以下步骤:

将所述第一前驱体涂覆于活化的所述基板上表面,形成覆盖于所述基板上表面的所述第一功能层;

将所述第二前驱体涂覆于所述第一功能层上表面,形成覆盖于所述第一功能层上表面的所述第二功能层。

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