[发明专利]执行装置及执行方法在审
| 申请号： | 202110616987.X | 申请日： | 2021-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN113808901A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 杉田吉平 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 示例性实施方式所涉及的执行装置具备动作装置、第1加速度传感器、第2加速度传感器及控制装置。动作装置执行规定动作。第1加速度传感器检测沿水平方向的第1方向上的加速度。第2加速度传感器检测沿水平方向的与第1方向相交的第2方向上的加速度。控制装置根据第1加速度传感器及第2加速度传感器的输出值来识别半导体制造装置内的执行装置的输送位置。在识别出执行装置已被输送至规定位置时，控制装置使动作装置执行规定动作。 | ||
| 搜索关键词： | 执行 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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