[发明专利]执行装置及执行方法

权利要求书

1.一种执行装置，其被输送至设置于半导体制造装置中的输送装置并执行规定动作，所述执行装置具备：

动作装置，用于执行所述规定动作；

第1加速度传感器，能够检测沿水平方向的第1方向上的加速度；

第2加速度传感器，能够检测沿水平方向的与所述第1方向相交的第2方向上的加速度；及

控制装置，根据所述第1加速度传感器及所述第2加速度传感器的输出值来识别所述半导体制造装置内的所述执行装置的输送位置，并在识别出执行装置已被输送至规定位置时，使所述动作装置执行所述规定动作。

2.根据权利要求1所述的执行装置，其中，

所述控制装置存储配方信息，所述配方信息表示对被输送至所述输送装置的所述执行装置施加的加速度的信息与输送位置的信息的关系，参考所述配方信息，并根据基于所述第1加速度传感器及所述第2加速度传感器的输出值所导出的加速度来识别所述输送位置。

3.根据权利要求1或2所述的执行装置，其中，

所述动作装置包括发射彼此不同的波长的光的多个光源，

所述规定动作为所述多个光源的发光。

4.根据权利要求1或2所述的执行装置，其中，

所述动作装置是计测静电电容的计测器，

所述规定动作为计测所述执行装置与对象物之间的静电电容。

5.根据权利要求1或2所述的执行装置，其中，

所述动作装置是摄像装置，

所述规定动作为摄像所述执行装置的周围。

6.一种执行方法，其使被输送至设置于半导体制造装置中的输送装置的执行装置执行规定动作，所述执行方法具备如下工序：

获取沿水平方向的第1方向和与所述第1方向相交的沿水平方向的第2方向上的所述执行装置的加速度；

根据所述加速度来识别所述半导体制造装置内的所述执行装置的输送位置；及

在识别出执行装置已被输送至规定位置时，使所述执行装置执行所述规定动作。

7.根据权利要求6所述的执行方法，其中，

识别所述输送位置的工序包括参考配方信息的工序，所述配方信息表示对被输送至所述输送装置的所述执行装置施加的加速度的信息与输送位置的信息的关系。

8.根据权利要求6或7所述的执行方法，其中，

执行所述规定动作的工序包括由多个光源发射彼此不同的波长的光的工序。

9.根据权利要求6或7所述的执行方法，其中，

执行所述规定动作的工序包括计测所述执行装置与对象物之间的静电电容的工序。

10.根据权利要求6或7所述的执行方法，其中，

执行所述规定动作的工序包括摄像所述执行装置的周围的工序。