[发明专利]一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构

摘要

本发明涉及气相沉积设备技术领域，且公开了一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构，包括开关机构、固定机构、连接机构，所述开关机构的内部包括伸缩杆、伸缩杆的表面活动连接有转杆，转杆的另一端活动连接有接电块，接电块远离转杆的一侧面活动连接有接电板，接电板的表面固定连接有连杆，连杆远离接电板的一端固定连接有斜板，通过将芯片放置在子载盘的表面，丝杆转动，带动活塞板沿着负压仓的内壁移动，使得负压仓内部产生负压，再配合抽气口的连接作用，芯片吸附在子载盘的表面，子载盘转动，导热片向导热槽的表面移动，带动加热丝产生热量，再配合子载盘的自转运动，对子载盘的边缘处进行辅助加热。