[发明专利]一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构

权利要求书

1.一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构，其特征在于：包括开关机构(3)、固定机构(4)、连接机构(5)，所述开关机构(3)的内部包括伸缩杆(31)、伸缩杆(31)的表面活动连接有转杆(32)，转杆(32)的另一端活动连接有接电块(33)，接电块(33)远离转杆(32)的一侧面活动连接有接电板(34)，接电板(34)的表面固定连接有连杆(35)，连杆(35)远离接电板(34)的一端固定连接有斜板(36)。

2.根据权利要求1所述的一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构，其特征在于：所述固定机构(4)的内部包括负压仓(41)，负压仓(41)的内壁活动连接有活塞板(42)，活塞板(42)的表面活动连接有丝杆(43)，活塞板(42)的表面开设有通孔，活塞板(42)表面通孔内设置有螺纹，丝杆(43)啮合在活塞板(42)表面通孔内，活塞板(42)的一表面固定连接有推杆(44)，活塞板(42)的另一表面固定连接有拉簧(45)，负压仓(41)的表面设置有抽气口(46)。

3.根据权利要求1所述的一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构，其特征在于：所述连接机构(5)的内部包括滑槽(51)，滑槽(51)的内壁活动连接有滚珠(52)，滚珠(52)的表面活动连接有梯形块(53)，梯形块(53)的表面固定连接有导热片(54)，导热片(54)远离梯形块(53)的一侧面固定连接有弹性杆(55)。

4.根据权利要求1所述的一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构，其特征在于：还包括承载机构(1)，所述承载机构(1)的内部包括载盘(11)，载盘(11)的轴心处固定连接有内齿环(12)，内齿环(12)的内壁活动连接有异齿轮(13)，异齿轮(13)的轴心处固定连接有外齿环(14)，载盘(11)的表面开设有环形槽(15)，环形槽(15)的内壁固定连接有加热丝(16)。

5.根据权利要求1所述的一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构，其特征在于：还包括反应机构(2)，所述反应机构(2)的内部包括子载盘(21)，子载盘(21)的轴心处固定连接有齿轮(22)。

6.根据权利要求1所述的一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构，其特征在于：还包括加热机构(6)，所述加热机构(6)的内部包括固定架(61)，固定架(61)的表面固定连接有加热板(62)，加热板(62)的底部开设有导热槽(63)。

7.根据权利要求1所述的一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构，其特征在于：所述开关机构(3)、固定机构(4)、连接机构(5)均固定连接在反应机构(2)的表面，反应机构(2)活动连接在承载机构(1)的表面，加热机构(6)活动连接在承载机构(1)的表面。

8.根据权利要求1所述的一种激光器芯片的有机金属气相沉积设备的子载盘结构，其特征在于：所述斜板(36)的斜面与推杆(44)远离活塞板(42)的一端活动连接，丝杆(43)通过一伺服电机带动，该伺服电机与接电块(33)、接电板(34)串联在同一电路内。