[发明专利]一种用于微波件盖板的高可靠封装结构及封装方法在审

专利信息
申请号: 202110557774.4 申请日: 2021-05-21
公开(公告)号: CN113299610A 公开(公告)日: 2021-08-24
发明(设计)人: 方杰;崔西会;邢大伟;刘川;张旻;吴婷;伍泽亮;廖伟;何东;陈涛 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第二十九研究所
主分类号: H01L23/06 分类号: H01L23/06;H01L23/10;H01L23/04;H01L21/48;H01L21/50
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 吴彦峰
地址: 610036 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及微电子封装技术领域,公开了一种用于微波件盖板的高可靠封装结构,包括盖板和盒体,盖板包括对外输出接口,盖板的中部包括芯片及陶瓷电路基板装配区,还包括有机电路基板装配区,盖板的边缘处设置密封连接部,密封连接部沿盖板的边缘延伸并围成封闭的环形。本发明将不同热膨胀系数的梯度材料通过粉末冶金方式一体化成型,且各个区域的热膨胀系数、形状、尺寸与位置皆可灵活调节,可实现多种不同物理性能的电路基板、芯片和封装元器件一体化集成于同一盖板上,同时还可与盒体实现气密性焊接,形成了一种高密度、高可靠集成的封装盖板。本发明可提升微波组件的集成密度,对于盖板的可靠性提升和微组装的实现具有极大促进作用。
搜索关键词: 一种 用于 微波 盖板 可靠 封装 结构 方法
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