[发明专利]一种用于微波件盖板的高可靠封装结构及封装方法在审
| 申请号: | 202110557774.4 | 申请日: | 2021-05-21 |
| 公开(公告)号: | CN113299610A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
| 发明(设计)人: | 方杰;崔西会;邢大伟;刘川;张旻;吴婷;伍泽亮;廖伟;何东;陈涛 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 |
| 主分类号: | H01L23/06 | 分类号: | H01L23/06;H01L23/10;H01L23/04;H01L21/48;H01L21/50 |
| 代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 吴彦峰 |
| 地址: | 610036 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 微波 盖板 可靠 封装 结构 方法 | ||
1.一种用于微波件盖板的高可靠封装结构,包括盖板(1)和盒体(5),其特征在于:所述的盖板(1)包括对外输出接口(6),盖板(1)的中部包括芯片及陶瓷电路基板装配区(7),还包括有机电路基板装配区(8),盖板(1)的边缘处设置密封连接部(9),密封连接部(9)沿盖板(1)的边缘延伸并围成封闭的环形;芯片及陶瓷电路基板装配区(7)的热膨胀系数为7~11ppm,有机电路基板装配区(8)的热膨胀系数为15~20ppm,密封连接部(9)的热膨胀系数为17~20ppm。
2.根据权利要求1所述的用于微波件盖板的高可靠封装结构,其特征在于:所述的盖板(1)采用梯度材料制成。
3.根据权利要求1或2所述的用于微波件盖板的高可靠封装结构,其特征在于:所述的芯片及陶瓷电路基板装配区(7)与有机电路基板装配区(9)紧邻设置。
4.根据权利要求3所述的用于微波件盖板的高可靠封装结构,其特征在于:所述的密封连接部(9)绕芯片及陶瓷电路基板装配区(7)与有机电路基板装配区(8)的外围连续设置。
5.根据权利要求1或4所述的用于微波件盖板的高可靠封装结构,其特征在于:所述的密封连接部(9)的宽度大于等于0.8mm。
6.根据权利要求1所述的用于微波件盖板的高可靠封装结构,其特征在于:所述的对外输出接口(6)位于芯片及陶瓷电路基板装配区(7)或位于有机电路基板装配区(7)。
7.一种用于微波件盖板的高可靠封装方法,用于实现权利要求1~6中任一项所述封装结构的封装,其特征在于,包括:
根据芯片及陶瓷电路基板装配区(7)、有机电路基板装配区(8)以及密封连接部(9)各个区域对热膨胀系数的不同需求,准备多种热膨胀系数的梯度材料,以粉末冶金的方式一体化成型制备出整体盖板(1);
将芯片(3)及陶瓷电路基板(2)连接固定于对应装配区,并将有机电路基板(4)连接固定于对应装配区;
将密封部连接部(9)与盒体(5)激光密封焊接处理。
8.根据权利要求7所述的用于微波件盖板的高可靠封装方法,其特征在于:所述的芯片(3)及陶瓷电路基板(2)粘接或焊接至对应装配区,所述的有机电路基板(4)粘接或焊接至对应装配区。
9.根据权利要求7所述的用于微波件盖板的高可靠封装方法,其特征在于:所述芯片及陶瓷电路基板装配区(7)与有机电路基板装配区(8)表面镀涂处理,以保证粘接与焊接的可靠性封装。
10.根据权利要求7所述的用于微波件盖板的高可靠封装方法,其特征在于:所述的陶瓷电路基板(2)或有机电路基板(4)的输出结构与盖板的对外输出接口连接配合,输出结构与对外输出接口的连接处进行气密封装处理。
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