[发明专利]一种用于微波件盖板的高可靠封装结构及封装方法在审
| 申请号: | 202110557774.4 | 申请日: | 2021-05-21 |
| 公开(公告)号: | CN113299610A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
| 发明(设计)人: | 方杰;崔西会;邢大伟;刘川;张旻;吴婷;伍泽亮;廖伟;何东;陈涛 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 |
| 主分类号: | H01L23/06 | 分类号: | H01L23/06;H01L23/10;H01L23/04;H01L21/48;H01L21/50 |
| 代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 吴彦峰 |
| 地址: | 610036 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 微波 盖板 可靠 封装 结构 方法 | ||
本发明涉及微电子封装技术领域,公开了一种用于微波件盖板的高可靠封装结构,包括盖板和盒体,盖板包括对外输出接口,盖板的中部包括芯片及陶瓷电路基板装配区,还包括有机电路基板装配区,盖板的边缘处设置密封连接部,密封连接部沿盖板的边缘延伸并围成封闭的环形。本发明将不同热膨胀系数的梯度材料通过粉末冶金方式一体化成型,且各个区域的热膨胀系数、形状、尺寸与位置皆可灵活调节,可实现多种不同物理性能的电路基板、芯片和封装元器件一体化集成于同一盖板上,同时还可与盒体实现气密性焊接,形成了一种高密度、高可靠集成的封装盖板。本发明可提升微波组件的集成密度,对于盖板的可靠性提升和微组装的实现具有极大促进作用。
技术领域
本发明涉及微电子封装技术领域,具体涉及一种用于微波件盖板的高可靠封装结构及封装方法。
背景技术
电子设备和产品持续向薄轻短小发展,集成密度不断提高,微波组件正逐渐由传统的二维平面集成向三维立体集成方向发展,基于二维平面集成技术的微波件盖板上不集成元器件与电路基板,只是用作气密隔离,相对简单的盖板结构即可实现与微波件盒体的气密封装。
面向三维立体集成技术的盖板除了作气密隔离,还需要作为元器件和高密度电路基板的机械支撑,这就要求盖板既要满足与盒体之间气密封装兼容性,又要与高密度电路基板和器件热膨胀系数匹配,才能满足微波组件的可靠性要求。
现有技术多通过改善复合材料制备方法、优化微波组件盒体结构来解决微波件封装中热膨胀系数匹配、散热、焊接气密等问题来提升微波件的封装可靠性与集成密度,未见有关于封装盖板的结构及封装方法,尤其未见用于微波组件高可靠封装结构及方法。
因此,现有的用作微波件盖板的封装结构存在需要优化改进的空间,不仅盖板的材质需要满足电路机板的机械支撑需求,还需要满足盖板与盒体的气密封装要求。故需要提出更为合理的技术方案,解决现有技术中的不足。
发明内容
为了解决上述内容中提到的现有技术缺陷,本发明提供了一种用于微波件盖板的高可靠封装结构及封装方法,通过改进盖板的材质结构,将盖板上设置不同元件的区域进行材质调整,以使每个区域适应对应的元件的热膨胀性,同时盖板与盒体配合连接,实现连接处的气密性。
为了实现上述目的,本发明具体采用的技术方案是:
一种用于微波件盖板的高可靠封装结构,包括盖板和盒体,所述的盖板包括对外输出接口,盖板的中部包括芯片及陶瓷电路基板装配区,还包括有机电路基板装配区,盖板的边缘处设置密封连接部,密封连接部沿盖板的边缘延伸并围成封闭的环形;芯片及陶瓷电路基板装配区的热膨胀系数为7~11ppm,有机电路基板装配区的热膨胀系数为15~20ppm,密封连接部的热膨胀系数为17~20ppm。
上述公开的封装结构,通过对盖板不同连接区域的优化改进,在连接设置芯片、陶瓷电路基板和有机电路基板后,根据热膨胀系数的对应匹配可保持连接的可靠性,不会出现损坏、脱落的现象,能够实现用电元器件直接安装设置在盖板上,无需设置专门的缓冲结构,结构上更加简化,设置也更加方便;密封连接部环绕在整个盖板的边缘部位,与盒体直接接触配合,其热膨胀系数与盒体的热膨胀系数对应匹配,能够在温度发生变化,盖板、盒体发生膨胀时保持密封性。
进一步的,本发明中所使用的盖板可采用多种材质制成,其并不唯一限定;为了方便热膨胀系数的设置,此处对盖板的材质进行优化并举出如下一种可行的选择:所述的盖板采用梯度材料制成。采用如此方案时,通过调整不同区域梯度材料中的各成分占比,即可调整对应区域的热膨胀系数。
进一步的,由于微波件的集成化、小型化,盖板上的区域划分均按照功能划分,减少无功能空白区域的设置,此处进行优化并举出其中一种可行的选择:所述的芯片及陶瓷电路基板装配区与有机电路基板装配区紧邻设置。采用如此方案时,各个装配区的热膨胀系数与装配区内的元器件相匹配,能够保持装配的可靠性。
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