[发明专利]一种IZO靶材的回收方法在审
| 申请号： | 202110537592.0 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113149612A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 李开杰;邵学亮;张来稳;司振华;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/626;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种IZO靶材的回收方法，属于靶材回收再生领域。本发明所述IZO靶材的回收方法首先将回收靶材经过抛光及热处理去除靶材原有的粗铟及部分杂质，随后粉碎至微米级别粉末并在高温烧结以进一步提纯，随后将新粉与所得粉末混合球磨至合适尺寸，最终经喷雾造粒得到纯度较高，粒度均匀细小，可进一步制备高密度靶材的IZO粉末；所述方法操作步骤简单，可实施工业化大规模生产，所述IZO靶材的回收利用率高，经济效益高；本发明还公开了一种由所述IZO粉末制备IZO靶材的方法，所述IZO粉末经压制成型及烧结后的IZO靶材纯度较高，密致紧实，相对密度大于98.5％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 izo 回收 方法 | ||
【主权项】：
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