[发明专利]一种IZO靶材的回收方法在审
| 申请号： | 202110537592.0 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113149612A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 李开杰;邵学亮;张来稳;司振华;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/626;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 izo 回收 方法 | ||
1.一种IZO靶材的回收方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将回收的IZO靶材经抛光及热处理后，粉碎至颗粒为微米级，得前驱粉末A；
(2)将步骤(1)所得前驱粉末A置入烧结炉中升温至550～900℃并保温6～18h，得旧料粉末B；
(3)将氧化锌和氧化铟按比例混合并置入球磨机中进行球磨处理，得新料粉末C；所述氧化锌和氧化铟的质量比为1：(5～15)；
(4)将旧料粉末B和球磨机中的新料粉末C混合均匀，同时加入纯水及添加剂并进行球磨处理，得球磨浆料D；所述添加剂包括分散剂和粘结剂，所述分散剂包括聚乙烯吡咯烷酮、聚羧酸系化合物、聚乙烯酸盐中的至少一种，所述粘结剂包括聚乙烯醇、羧甲基纤维素、聚丙烯酰胺、聚丙烯酸盐、聚乙二醇中的至少一种；
(5)将步骤(4)所得球磨浆料D进行喷雾造粒，即得IZO粉末。
2.如权利要求1所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，步骤(1)所述热处理的温度为200～300℃，时间为4～12h。
3.如权利要求1所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，步骤(3)所述球磨处理的转速为42～48r/min，时间为6～12h。
4.如权利要求1所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，步骤(4)所述添加的旧料粉末B与新料粉末C的质量比为0.9～1.4：1。
5.如权利要求1所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，步骤(4)所述球磨浆料D中固体的质量含量为40～75％，浆料的粒度D50＜0.5μm，D90＜1μm。
6.如权利要求5所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，所述分散剂的添加量占新料粉末C质量含量的1～15％，粘结剂的添加量占新料粉末C质量含量的1～15％。
7.如权利要求1所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，步骤(4)所述球磨处理的转速为42～48r/min，时间为24～48h。
8.如权利要求1所述IZO靶材的回收方法，其特征在于，步骤(5)所述喷雾造粒时的温度为80～110℃。
9.一种IZO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将权利要求1～8任一项所述IZO靶材的回收方法制备的IZO粉末经过干压和冷等静压处理后，在常压下烧结，即得所述IZO靶材。
10.如权利要求9所述IZO靶材的制备方法，其特征在于，所述烧结的具体步骤为：将材料以0.1～1℃/min升温至600～1000℃，再以0.1～1℃/min升温至1300～1550℃，保温5～12h后，以1℃/min降温至室温。
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