[发明专利]一种IZO靶材的回收方法

说明书

本发明公开了一种IZO靶材的回收方法，属于靶材回收再生领域。本发明所述IZO靶材的回收方法首先将回收靶材经过抛光及热处理去除靶材原有的粗铟及部分杂质，随后粉碎至微米级别粉末并在高温烧结以进一步提纯，随后将新粉与所得粉末混合球磨至合适尺寸，最终经喷雾造粒得到纯度较高，粒度均匀细小，可进一步制备高密度靶材的IZO粉末；所述方法操作步骤简单，可实施工业化大规模生产，所述IZO靶材的回收利用率高，经济效益高；本发明还公开了一种由所述IZO粉末制备IZO靶材的方法，所述IZO粉末经压制成型及烧结后的IZO靶材纯度较高，密致紧实，相对密度大于98.5％。

技术领域

本发明涉及靶材回收再生领域，具体涉及一种IZO靶材的回收方法。

背景技术

近年来，随着电子信息技术的发展，用于沉积IZO薄膜的靶材用量迅猛增加，但目前工业生产批量IZO靶材的过程中，IZO靶材的利用率不到50％，近50％以上的靶材在生产过程中成为废料，存在很大的资源浪费问题，而现有技术中，对于IZO靶材的回收再生有没有合适的回收处理方案，因此，对于IZO靶材的使用企业来说，若将这些废料作一般报废处理，势必则导致资源的浪费，增加了企业的成本。鉴于此，有必要研发一种能够有效处理用废的IZO靶材的回收方案。

发明内容

基于现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种IZO靶材的回收方法，该方法将回收IZO靶材进行除杂处理后经过加热及球磨处理，最后喷雾造粒及烧结成型的IZO粉末及IZO靶材品质较高，生产效率高；所述方法操作步骤简单，设备要求低且制备成本低。

为了达到上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种IZO靶材的回收方法，包括以下步骤：

(1)将回收的IZO靶材经抛光及热处理后，粉碎至颗粒为微米级，得前驱粉末A；

(2)将步骤(1)所得前驱粉末A置入烧结炉中升温至550～900℃并保温6～18h，得旧料粉末B；

(3)将氧化锌和氧化铟按比例混合并置入球磨机中进行球磨处理，得新料粉末C；所述氧化锌和氧化铟的质量比为1：(5～15)；

(4)将旧料粉末B和球磨机中的新料粉末C混合均匀，同时加入纯水及添加剂并进行球磨处理，得球磨浆料D；所述添加剂包括分散剂和粘结剂，所述分散剂包括聚乙烯吡咯烷酮、聚羧酸系化合物、聚乙烯酸盐中的至少一种，所述粘结剂包括聚乙烯醇、羧甲基纤维素、聚丙烯酰胺、聚丙烯酸盐、聚乙二醇中的至少一种；

(5)将步骤(4)所得球磨浆料D进行喷雾造粒，即得IZO粉末。

所述球磨浆料D在制备时，所用分散剂及粘结剂均是温和稳定的可溶性添加剂，制备的粉末产品在后续回收热处理时可轻易去除这些添加剂，方便再生利用。

通过添加分散剂及粘结剂，可使球磨时粉末分散均匀，制备的浆料无明显团聚现象。

本发明所述IZO靶材的回收方法首先将回收靶材经过抛光及热处理去除靶材原有的粗铟及部分杂质，随后粉碎至微米级别粉末并在高温烧结以进一步提纯，随后将新粉与所得粉末混合球磨至合适尺寸，最终经喷雾造粒得到纯度较高，粒度均匀细小，可进一步制备高密度靶材的IZO粉末；所述方法操作步骤简单，可实施工业化大规模生产，所述IZO靶材的回收利用率高，经济效益高。

优选地，步骤(1)所述热处理的温度为200～300℃，时间为4～12h。

通过特定的高温预处理条件可将部分靶材表面原有的杂质去除，提高后续烧结除杂效率。

优选地，步骤(1)所述前驱粉末在粉碎至颗粒为微米级后，所述粉末颗粒的粒径＜150μm。

优选地，步骤(2)所述前驱粉末A置入烧结炉中升温至570～660℃并保温。