[发明专利]厚度检测方法及相关产品有效

专利信息
申请号: 202110527783.9 申请日: 2021-05-14
公开(公告)号: CN113240724B 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 法提·奥尔梅兹;郑先意 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: G06T7/60 分类号: G06T7/60;G01B11/06
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 熊永强
地址: 430074 湖北省武汉*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 本申请实施例公开了一种厚度检测方法及相关产品,方法包括:获取目标图像,所述目标图像包括用于指示目标物体的目标层位置的第一参考点,所述目标层包括第一边界和第二边界;根据所述目标图像中第一图像区域的图像强度,从所述第一图像区域中获取与所述第一边界对应的第一目标图像区域,以及与所述第二边界对应的第二目标图像区域,所述第一图像区域包括所述第一参考点;根据所述第一目标图像区域和所述第二目标图像区域之间的距离,确定所述目标层的厚度。本申请实施例有利于提高厚度检测的效率和检测结果的准确性。
搜索关键词: 厚度 检测 方法 相关 产品
【主权项】:
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