[发明专利]厚度检测方法及相关产品

说明书

本申请实施例公开了一种厚度检测方法及相关产品，方法包括：获取目标图像，所述目标图像包括用于指示目标物体的目标层位置的第一参考点，所述目标层包括第一边界和第二边界；根据所述目标图像中第一图像区域的图像强度，从所述第一图像区域中获取与所述第一边界对应的第一目标图像区域，以及与所述第二边界对应的第二目标图像区域，所述第一图像区域包括所述第一参考点；根据所述第一目标图像区域和所述第二目标图像区域之间的距离，确定所述目标层的厚度。本申请实施例有利于提高厚度检测的效率和检测结果的准确性。

技术领域

本申请涉及图像处理技术领域，具体涉及一种厚度检测方法及相关产品。

背景技术

高绝缘材料-氧化铝层(HK-ALO)是位于ONOP沟道孔结构(ONOP沟道孔结构从内到外包括多晶硅通道(P)、隧道氧化层(O)、存储氮化物(N)和块状氧化物(O))中块氧化物与外部钨壁之间的层，HK-ALO非常薄，厚度通常约为2.5nm-3nm。而实际应用中，出于各种原因，存在对HK-ALO的厚度进行测量的需求。

发明内容

本申请实施例提供了一种厚度检测方法及相关产品，以期提高厚度检测的效率和检测结果的准确性。

第一方面，本申请实施例提供了一种厚度检测方法，所述方法包括：

获取目标图像，所述目标图像包括用于指示目标物体的目标层位置的第一参考点，所述目标层包括第一边界和第二边界；

根据所述目标图像中第一图像区域的图像强度，从所述第一图像区域中获取与所述第一边界对应的第一目标图像区域，以及与所述第二边界对应的第二目标图像区域，所述第一图像区域包括所述第一参考点；

根据所述第一目标图像区域和所述第二目标图像区域之间的距离，确定所述目标层的厚度。

第二方面，本申请实施例提供了一种厚度检测装置，所述装置包括：第一获取单元、第二获取单元和确定单元，其中，

所述第一获取单元，用于获取目标图像，所述目标图像包括用于指示目标层位置的第一参考点，所述目标层包括第一边界和第二边界；

所述第二获取单元，用于根据所述目标图像中第一图像区域的图像强度，从所述第一图像区域中获取与所述第一边界对应的第一目标图像区域，以及与所述第二边界对应的第二目标图像区域，所述第一图像区域包括所述第一参考点；

所述确定单元，用于根据所述第一目标图像区域和所述第二目标图像区域之间的距离，确定所述目标层的厚度。

第三方面，本申请实施例提供一种电子设备，包括处理器、存储器、通信接口，以及一个或多个程序，所述一个或多个程序被存储在所述存储器中，并且被配置由所述处理器执行，所述程序包括用于执行本申请实施例第一方面中的步骤的指令。

第四方面，本申请实施例提供了一种计算机存储介质，存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如本实施例第一方面中所描述的部分或全部步骤。

第五方面，本申请实施例提供了一种计算机程序产品，其中，上述计算机程序产品包括存储了计算机程序的非瞬时性计算机可读存储介质，上述计算机程序可操作来使计算机执行如本申请实施例第一方面中所描述的部分或全部步骤。该计算机程序产品可以为一个软件安装包。

本申请实施例中，电子设备首获取目标图像，该目标图像包括用于指示目标物体的目标层位置的第一参考点，然后电子设备根据该目标图像中第一图像区域的图像强度，从该第一图像区域中获取与目标层的第一边界对应的第一目标图像区域，以及与目标层的第二边界对应的第二目标图像区域，该第一图像区域包括该第一参考点，之后电子设备再根据该第一目标图像区域和该第二目标图像区域之间的距离，确定该目标层的厚度。可见，电子设备可以直接对目标图像进行处理，并根据指示目标层位置的第一参考点所在的第一图像区域的图像强度进行目标层厚度的确定，有利于提高厚度检测的效率和检测结果的准确性。