[发明专利]厚度检测方法及相关产品有效

专利信息
申请号: 202110527783.9 申请日: 2021-05-14
公开(公告)号: CN113240724B 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 法提·奥尔梅兹;郑先意 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: G06T7/60 分类号: G06T7/60;G01B11/06
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 熊永强
地址: 430074 湖北省武汉*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 厚度 检测 方法 相关 产品
【权利要求书】:

1.一种厚度检测方法,其特征在于,所述方法包括:

获取目标图像,所述目标图像包括用于指示目标物体的目标层位置的第一参考点,所述目标层包括第一边界和第二边界;

根据所述目标图像中第一图像区域的图像强度,从所述第一图像区域中获取与所述第一边界对应的第一目标图像区域,以及与所述第二边界对应的第二目标图像区域,所述第一图像区域包括所述第一参考点;

根据所述第一目标图像区域和所述第二目标图像区域之间的距离,确定所述目标层的厚度;

其中,所述第一图像区域包括沿第一特征线分布的N个子图像区域,所述第一特征线经过所述第一边界、所述目标层和所述第二边界,N为不小于2的整数;所述第一目标图像区域是根据第一目标强度从所述第一图像区域中获取的;所述第二目标图像区域是根据第二目标强度从所述第一图像区域中获取的;所述第一目标强度是根据平均强度曲线中距离所述平均强度曲线的第一端最近的局部极值,从所述平均强度曲线中获取的;所述第二目标强度是根据平均强度曲线中的最值从所述平均强度曲线中获取的;所述平均强度曲线是根据所述N个子图像区域中每个子图像区域的平均图像强度确定的。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一图像区域包括沿第一特征线分布的N个子图像区域,所述第一特征线经过所述第一边界、所述目标层和所述第二边界,N为不小于2的整数;所述根据所述目标图像中第一图像区域的图像强度,从所述第一图像区域中获取与所述第一边界对应的第一目标图像区域,以及与所述第二边界对应的第二目标图像区域,包括:

获取所述N个子图像区域中每个子图像区域的平均图像强度,得到N个平均图像强度;

根据所述N个平均图像强度获取平均强度曲线;

根据所述平均强度曲线中距离平均强度曲线的第一端最近的局部极值,从所述平均强度曲线中获取第一目标强度;

根据所述平均强度曲线中的最值,从所述平均强度曲线中获取第二目标强度;

根据所述第一目标强度,从所述第一图像区域中获取所述第一目标图像区域;

根据所述第二目标强度,从所述第一图像区域中获取所述第二目标图像区域。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述根据所述平均强度曲线中距离平均强度曲线的第一端最近的局部极值,从所述平均强度曲线中获取第一目标强度;根据所述平均强度曲线中的最值,从所述平均强度曲线中获取第二目标强度,包括:

从所述平均强度曲线中获取第一参考强度和第二参考强度,所述第一参考强度包括所述平均强度曲线中距离平均强度曲线的第一端最近的局部极值,所述第二参考强度包括所述平均强度曲线中的最值;

根据第一参考强度、第二参考强度和所述平均强度曲线,获取所述目标层的参考强度;

根据预设的第一参数、所述目标层的参考强度和所述第一参考强度,确定所述第一目标强度;

根据预设的第二参数、所述目标层的参考强度和所述第二参考强度,确定所述第二目标强度。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,在所述平均强度曲线中包括多个所述第一目标强度的情况下,所述多个第一目标强度与所述第一图像区域中多个第一候选图像区域一一对应;所述根据所述第一目标强度,从所述第一图像区域中获取所述第一目标图像区域,包括:

根据所述第一参数的参数值,获取所述第一目标图像区域与所述第一参考强度对应的第一参考图像区域的相对位置关系;

根据所述第一目标图像区域与所述第一参考图像区域的相对位置关系,从所述多个第一候选图像区域中获取所述第一目标图像区域;

在所述平均强度曲线中包括多个所述第二目标强度的情况下,所述多个第二目标强度与所述第一图像区域中多个第二候选图像区域一一对应;所述根据所述第二目标强度,从所述第一图像区域中获取所述第二目标图像区域,包括:

根据所述第二参数的参数值,获取所述第二目标图像区域与所述第二参考强度对应的第二参考图像区域的相对位置关系;

根据所述第二目标图像区域与所述第二参考图像区域的相对位置关系,从所述多个第二候选图像区域中获取所述第二目标图像区域。

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