[发明专利]一种光刻机噪音防护板在审
| 申请号： | 202110511276.6 | 申请日： | 2021-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN113176717A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 顾思家 | 申请（专利权）人： | 顾思家 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 402260 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机噪音防护板，属于半导体制造技术领域，包括空心薄板、设置在所述空心薄板内的至少两个第一隔音盒，所述空心薄板呈矩形，所述第一隔音盒沿空心薄板的横向均匀间隔布置；沿所述空心薄板的横向在所述空心薄板的两侧面开设有通槽，所述第一隔音盒的两端面开设有第一通孔，第一隔音盒两端的第一通孔分别与空心薄板两侧的通槽对应，相邻两第一隔音盒之间在横向设置有可调间隔部件，所述可调间隔部件用于调节相邻两第一隔音盒之间的间隔。本发明装置可以降低因低频噪声引起的光刻机的主基板、物镜、干涉仪等部件的振动，提高光刻机的精度和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 噪音 防护 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于顾思家，未经顾思家许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110511276.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
