[发明专利]一种光刻机噪音防护板

说明书

本发明公开了一种光刻机噪音防护板，属于半导体制造技术领域，包括空心薄板、设置在所述空心薄板内的至少两个第一隔音盒，所述空心薄板呈矩形，所述第一隔音盒沿空心薄板的横向均匀间隔布置；沿所述空心薄板的横向在所述空心薄板的两侧面开设有通槽，所述第一隔音盒的两端面开设有第一通孔，第一隔音盒两端的第一通孔分别与空心薄板两侧的通槽对应，相邻两第一隔音盒之间在横向设置有可调间隔部件，所述可调间隔部件用于调节相邻两第一隔音盒之间的间隔。本发明装置可以降低因低频噪声引起的光刻机的主基板、物镜、干涉仪等部件的振动，提高光刻机的精度和稳定性。

技术领域

本发明属于半导体制造设备技术领域，具体涉及一种光刻机噪音防护板。

背景技术

光刻机是半导体产业中的关键设备，光刻机对振动的要求极为苛刻。随着光刻精度的快速发展和提高，噪声引起的光刻机内部振动越来越受到重视。其中，噪声易影响物镜、干涉仪等高精度部件的精度和稳定性，从而影响光刻机的测量精度及光刻精度。因此，急需提供一种光刻机噪音防护板，可以将其运用到光刻机的噪音防护系统中，降低因低频噪声引起的光刻机的主基板、物镜、干涉仪等部件的振动，提高光刻机的精度和稳定性。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种光刻机噪音防护板，可以降低因低频噪声引起的光刻机的主基板、物镜、干涉仪等部件的振动，提高光刻机的精度和稳定性。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明一种光刻机噪音防护板，包括空心薄板、设置在所述空心薄板内的至少两个第一隔音盒，所述空心薄板呈矩形，所述第一隔音盒沿空心薄板的横向均匀间隔布置；沿所述空心薄板的横向在所述空心薄板的两侧面开设有通槽，所述第一隔音盒的两端面开设有第一通孔，第一隔音盒两端的第一通孔分别与空心薄板两侧的通槽对应，相邻两第一隔音盒之间在横向设置有可调间隔部件，所述可调间隔部件用于调节相邻两第一隔音盒之间的间隔。

进一步，所述第一隔音盒呈矩形，所述可调间隔部件分设在所述第一隔音盒的两侧。

进一步，所述可调间隔部件包括第一螺杆和第二螺杆，所述第一螺杆和第二螺杆分设在第一隔音盒的两侧且分别与所述第一隔音盒螺纹连接，相邻两个第一隔音盒之间通过第一螺杆和第二螺杆抵接，通过旋转所述第一螺杆或第二螺杆，可以调整相邻两个第一隔音盒之间的间隔位置。

进一步，所述第一通孔位于所述第一隔音盒的两端，所述第一通孔内设置有第一套管，所述第一套管可沿其轴向移动从而相对于所述第一隔音盒调整位置。

进一步，所述第一隔音盒的两侧开设有第二通孔，所述第二通孔内固设有第二套管，所述第二套管位于所述第一隔音盒内，所述第二套管与第一螺杆或第二螺杆螺纹连接。

进一步，所述噪音防护板还包括第二隔音盒，所述第二隔音盒沿空心薄板的纵向均匀间隔布置。

进一步，所述空心薄板的内壁上设置有第一凸棱和第二凸棱，所述第一凸棱和第二凸棱之间形成用于安装所述第二隔音盒的安装槽。

进一步，所述第一隔音盒和第二隔音盒之间设置有弹性抵接装置。

进一步，所述弹性抵接装置包括内管、滑动套设在所述内管外的外管、用于连接所述内管和外管的弹簧，所述内管与第一隔音盒固定相连，所述外管与第二隔音盒抵接。

进一步，所述空心薄板的四角处均固定连接有直角板，所述直角板与空心薄板的内壁之间合围成第三隔音盒，所述第三隔音盒上开设有第三通孔，所述第三通孔位于所述通槽所在平面。

本发明的有益效果在于：