[发明专利]一种光刻机噪音防护板

权利要求书

1.一种光刻机噪音防护板，其特征在于：包括空心薄板、设置在所述空心薄板内的至少两个第一隔音盒，所述空心薄板呈矩形，所述第一隔音盒沿空心薄板的横向均匀间隔布置；沿所述空心薄板的横向在所述空心薄板的两侧面开设有通槽，所述第一隔音盒的两端面开设有第一通孔，第一隔音盒两端的第一通孔分别与空心薄板两侧的通槽对应，相邻两第一隔音盒之间在横向设置有可调间隔部件，所述可调间隔部件用于调节相邻两第一隔音盒之间的间隔。

2.根据权利要求1所述的光刻机噪音防护板，其特征在于：所述第一隔音盒呈矩形，所述可调间隔部件分设在所述第一隔音盒的两侧。

3.根据权利要求2所述的光刻机噪音防护板，其特征在于：所述可调间隔部件包括第一螺杆和第二螺杆，所述第一螺杆和第二螺杆分设在第一隔音盒的两侧且分别与所述第一隔音盒螺纹连接，相邻两个第一隔音盒之间通过第一螺杆和第二螺杆抵接，通过旋转所述第一螺杆或第二螺杆，可以调整相邻两个第一隔音盒之间的间隔位置。

4.根据权利要求3所述的光刻机噪音防护板，其特征在于：所述第一通孔位于所述第一隔音盒的两端，所述第一通孔内设置有第一套管，所述第一套管可沿其轴向移动从而相对于所述第一隔音盒调整位置。

5.根据权利要求4所述的光刻机噪音防护板，其特征在于：所述第一隔音盒的两侧开设有第二通孔，所述第二通孔内固设有第二套管，所述第二套管位于所述第一隔音盒内，所述第二套管与第一螺杆或第二螺杆螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的光刻机噪音防护板，其特征在于：所述噪音防护板还包括第二隔音盒，所述第二隔音盒沿空心薄板的纵向均匀间隔布置。

7.根据权利要求6所述的光刻机噪音防护板，其特征在于：所述空心薄板的内壁上设置有第一凸棱和第二凸棱，所述第一凸棱和第二凸棱之间形成用于安装所述第二隔音盒的安装槽。

8.根据权利要求6所述的光刻机噪音防护板，其特征在于：所述第一隔音盒和第二隔音盒之间设置有弹性抵接装置。

9.根据权利要求8所述的光刻机噪音防护板，其特征在于：所述弹性抵接装置包括内管、滑动套设在所述内管外的外管、用于连接所述内管和外管的弹簧，所述内管与第一隔音盒固定相连，所述外管与第二隔音盒抵接。

10.根据权利要求1-9任一项所述的光刻机噪音防护板，其特征在于：所述空心薄板的四角处均固定连接有直角板，所述直角板与空心薄板的内壁之间合围成第三隔音盒，所述第三隔音盒上开设有第三通孔，所述第三通孔位于所述通槽所在平面。