[发明专利]基板检查装置及基板检查方法有效
| 申请号： | 202110505263.8 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN113324487B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 洪映周;洪德和;金玟奎;崔桢熏 | 申请（专利权）人： | 株式会社高迎科技 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的基板检查装置可以包括：第一光源，其朝向混合有荧光染料的基板的涂覆膜照射紫外线；第一光传感器，其捕获从所述紫外线照射的所述涂覆膜发生的荧光并获得所述基板的二维图像；处理器，其基于所述二维图像，导出所述基板的多个区域中的一个区域；第二光源，其朝向所述一个区域照射激光；及第二光传感器，其获得借助于所述激光而从所述一个区域发生的光干涉数据；所述处理器可以基于所述光干涉数据，导出关于所述一个区域的涂覆膜的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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