[发明专利]一种金属化膜生产用镀膜装置有效
| 申请号： | 202110499152.0 | 申请日： | 2021-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN113416928B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 刘玲 | 申请（专利权）人： | 芜湖鑫国电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/50;C23C14/04 |
| 代理公司： | 安徽韵凯盟知识产权代理事务所(普通合伙) 34248 | 代理人： | 李顺 |
| 地址： | 241000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明的一种金属化膜生产用镀膜装置，属于真空镀膜装置技术领域，包括真空箱、移动架、旋转组件、自转组件、蒸发组件以及遮挡组件，移动架通过多组万向轮设置在真空箱内壁的底部，旋转组件设置在移动架的顶部，自转组件通过轴承座设置在旋转组件的顶部，蒸发组件设置在移动组件的下方，遮挡组件设置在蒸发组件的上方，本发明的有益效果是，在旋转组件以及自转组件的作用下，镀件不仅可以沿着第一转盘的圆心公转，还能够沿着连接杆的轴心实现自转，使得在镀膜时镀膜层更加均匀，在蒸发组件以及遮挡组件的作用下，可以在真空箱未达到适当温度以及足够的真空程度之前，对蒸发材料进行遮挡，防止此时镀件进行低质量的镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属化 生产 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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