[发明专利]一种金属化膜生产用镀膜装置

权利要求书

1.一种金属化膜生产用镀膜装置，其特征在于，包括有：

真空箱（1）；

移动架（4），设置在真空箱（1）内；

旋转组件（2），设置在移动架（4）的顶部；

自转组件（3），设置在旋转组件（2）的上方；

蒸发组件（5），设置在移动架（4）的下方；

遮挡组件（6），设置在蒸发组件（5）的上方；

其中，旋转组件（2）包括有支撑柱（25）、驱动电机（26）、第一转盘（11）以及固定在移动架（4）顶部的连接转轴（14），所述支撑柱（25）设置在移动架（4）的顶部，所述驱动电机（26）竖直设置在支撑柱（25）的顶部，连接转轴（14）内部中空，所述连接转轴（14）设置在支撑柱（25）之外，所述第一转盘（11）设置在驱动电机（26）的上方，连接转轴（14）的顶部与所述第一转盘（11）的底部转动连接，所述第一转盘（11）的中心处开设有第一齿槽（32），所述驱动电机（26）的输出轴上套设有第一齿轮（31），第一齿轮（31）在第一齿槽（32）的内部，且第一齿轮（31）与第一齿槽（32）啮合；

所述自转组件（3）包括有第二转盘（12）、轴承座（21）以及多组镀件架（40），所述第二转盘（12）设置在第一转盘（11）的上方，所述轴承座（21）的底部与第一转盘（11）的顶部转动连接，轴承座（21）的顶部与第二转盘（12）的底部转动连接，所述第二转盘（12）的中心处开设有第二齿槽（38），所述轴承座（21）的内部开设有供驱动电机（26）输出轴通过的孔槽，所述驱动电机（26）的输出轴上套设有第二齿轮（37），所述第二齿轮（37）与第二齿槽（38）啮合，多组所述镀件架（40）呈圆周分布在第一转盘（11）的顶部；

每组所述镀件架（40）包括有套管（22）、从动齿轮（13）以及镀件托（15），所述第二转盘（12）的侧壁开设有圆形齿盘（39），所述套管（22）的底部与所述第一转盘（11）的顶部固定连接，套管（22）的顶部与从动齿轮（13）转动连接，所述从动齿轮（13）与第二转盘（12）啮合，所述从动齿轮（13）上固定连接有连接杆（23），所述连接杆（23）通过套管（22）延伸至第一转盘（11）的下方，所述套管（22）的底部安装有可拆卸的镀件托（15）；

所述蒸发组件（5）包括有蒸发器（16）、蒸发台（17）以及坩埚（19），所述蒸发器（16）设置在真空箱（1）内壁的底部，所述蒸发台（17）设置在蒸发器（16）的上方，所述蒸发台（17）的顶部开设有圆形通槽（41），所述坩埚（19）通过所述通槽设置在蒸发台（17）上；

所述遮挡组件（6）包括有驱动部件、两块遮挡板（24）以及两个导轨（35），两个所述导轨（35）平行设置在蒸发台（17）的顶部，两个所述导轨（35）分别位于坩埚（19）的两侧，两块遮挡板（24）并列设置在两个导轨（35）的顶部，每块遮挡板（24）均与两个导轨（35）滑动配合；

所述驱动部件包括有转动电机（20）、两组互相平行的齿条（33）组以及两个连接齿轮（34），所述转动电机（20）设置在蒸发台（17）底部的一侧，两组齿条（33）组分别设置在两块遮挡板（24）底部的两侧，每组齿条（33）组均包括有两个相互平行的齿条（33），两个齿条（33）相对的一侧均设有齿槽，两个齿条（33）分别与两块遮挡板（24）的底部固定连接；每个所述连接齿轮（34）对应两个齿条（33），且所述连接齿轮（34）设置在两个齿条（33）之间，每个连接齿轮（34）均和与自身对应的两个齿条（33）啮合，所述转动电机（20）的输出轴上套设有螺纹杆，所述螺纹杆与靠近转动电机（20）一侧的遮挡板（24）螺纹连接；

所述真空箱（1）的顶部设置有真空泵（30），所述真空泵（30）的输出端与真空箱（1）内部连通；

所述移动架（4）的底部设置有多组万向轮（18），所述真空箱（1）内壁的底部开设有供万向轮（18）通过的限位槽。