[发明专利]一种金属化膜生产用镀膜装置

说明书

本发明的一种金属化膜生产用镀膜装置，属于真空镀膜装置技术领域，包括真空箱、移动架、旋转组件、自转组件、蒸发组件以及遮挡组件，移动架通过多组万向轮设置在真空箱内壁的底部，旋转组件设置在移动架的顶部，自转组件通过轴承座设置在旋转组件的顶部，蒸发组件设置在移动组件的下方，遮挡组件设置在蒸发组件的上方，本发明的有益效果是，在旋转组件以及自转组件的作用下，镀件不仅可以沿着第一转盘的圆心公转，还能够沿着连接杆的轴心实现自转，使得在镀膜时镀膜层更加均匀，在蒸发组件以及遮挡组件的作用下，可以在真空箱未达到适当温度以及足够的真空程度之前，对蒸发材料进行遮挡，防止此时镀件进行低质量的镀膜。

技术领域

本发明涉及真空镀膜装置技术领域，具体讲是一种金属化膜生产用镀膜装置。

背景技术

金属化镀膜是为了在非金属材料上镀上一层金属膜，使这些非金属材料具有了抗静电及电磁屏蔽功能，同时增强其表面强度，使之具有金属光泽等等金属材料的特性，真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(塑料、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，然而现有的技术在进行金属化镀膜的过程中，由于镀件在装置中只能绕着固定的轴转动，容易造成镀膜不均匀的情况，影响镀膜质量，而且现有的镀膜装置在蒸镀材料被加热充分之前就被镀在了镀件上，这也会降低镀膜的质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种金属化膜生产用镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本发明的技术方案是：包括有：

真空箱；

移动架，设置在真空箱内；

旋转组件，设置在移动架的顶部；

自转组件，设置在旋转组件的上方；

蒸发组件，设置在移动架的下方；

遮挡组件，设置在蒸发组件的上方；

其中，旋转组件包括有支撑柱、驱动电机、第一转盘以及固定在移动架顶部的连接转轴，所述支撑柱设置在移动架的顶部，所述驱动电机竖直设置在支撑柱的顶部，连接转轴内部中空，所述连接转轴设置在支撑柱之外，所述第一转盘设置在驱动电机的上方，连接转轴的顶部与所述第一转盘的底部转动连接，所述第一转盘的中心处开设有第一齿槽，所述驱动电机的输出轴上套设有第一齿轮，第一齿轮在第一齿槽的内部，且第一齿轮与第一齿槽啮合。

进一步的，所述自转组件包括有第二转盘、轴承座以及多组镀件架，所述第二转盘设置在第一转盘的上方，所述轴承座的底部与第一转盘的顶部转动连接，轴承座的顶部与第二转盘的底部转动连接，所述第二转盘的中心处开设有第二齿槽，所述轴承座的内部开设有供驱动电机输出轴通过的孔槽，所述驱动电机的输出轴上套设有第二齿轮，所述第二齿轮与第二齿槽啮合，多组所述镀件架呈圆周分布在第一转盘的顶部。

进一步的，每组所述镀件架包括有套管、从动齿轮以及镀件托，所述第二转盘的侧壁开设有圆形齿盘，所述套管的底部与所述第一转盘的顶部固定连接，套管的顶部与从动齿轮转动连接，所述从动齿轮与第二转盘啮合，所述从动齿轮上固定连接有连接杆，所述连接杆通过套管延伸至第一转盘的下方，所述套管的底部安装有可拆卸的镀件托。

进一步的，所述蒸发组件包括有蒸发器、蒸发台以及坩埚，所述蒸发器设置在真空箱内壁的底部，所述蒸发台设置在蒸发器的上方，所述蒸发台的顶部开设有圆形通槽，所述坩埚通过所述通槽设置在蒸发台上。

进一步的，所述遮挡组件包括有驱动部件、两块遮挡板以及两个导轨，两个所述导轨平行设置在蒸发台的顶部，两个所述导轨分别位于坩埚的两侧，两块遮挡板并列设置在两个导轨的顶部，每块遮挡板均与两个导轨滑动配合。