[发明专利]对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法以及存储介质在审
| 申请号： | 202110480488.2 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113637948A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 小林康信 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法以及存储介质。提高基板与掩模的对准的精度。对准装置进行基板和掩模的对位。检测构件检测设置于掩模的第一掩模标记和第二掩模标记、以及与第一掩模标记对应地设置于基板的第一基板标记。设定构件基于由检测构件检测到的第一基板标记的位置信息，设定与第二掩模标记对应的基板上的假想位置信息。位置调整构件基于假想位置信息和由检测构件检测到的第一掩模标记、第二掩模标记及第一基板标记的位置信息，进行基板和掩模的位置调整。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 装置 方法 电子器件 制造 以及 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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