[发明专利]对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法以及存储介质

权利要求书

1.一种对准装置，其特征在于，所述对准装置具备：

检测构件，所述检测构件检测设置于掩模的第一掩模标记和第二掩模标记、以及与所述第一掩模标记对应地设置于基板的第一基板标记；

设定构件，所述设定构件基于由所述检测构件检测到的所述第一基板标记的位置信息，设定与所述第二掩模标记对应的所述基板上的假想位置信息；以及

位置调整构件，所述位置调整构件基于所述假想位置信息和由所述检测构件检测到的所述第一掩模标记、所述第二掩模标记及所述第一基板标记的位置信息，进行所述基板和所述掩模的相对位置调整。

2.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于，

所述对准装置还具备显示部，所述显示部显示基于由所述设定构件设定的所述假想位置信息的假想标记。

3.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于，

所述检测构件是以与所述第一掩模标记和所述第二掩模标记分别对应的方式设置的多个照相机。

4.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于，

在所述掩模上设置有多个所述第一掩模标记，

在所述基板上，以与多个所述第一掩模标记分别对应的方式设置有多个所述第一基板标记，

所述设定构件基于由所述检测构件检测到的多个所述第一基板标记的位置信息，设定所述假想位置信息。

5.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于，

所述设定构件基于由所述检测构件检测到的所述第一基板标记的位置信息以及角度信息，设定所述假想位置信息。

6.一种对准装置，其特征在于，所述对准装置具备：

检测构件，所述检测构件对设置于掩模的第一掩模标记和第二掩模标记、与所述第一掩模标记对应地设置于基板的第一基板标记以及与所述第二掩模标记对应地设置于所述基板的第二基板标记进行检测；

设定构件，所述设定构件基于由所述检测构件检测到的所述第一基板标记的位置信息，设定与所述第二基板标记对应的所述基板上的假想位置信息；以及

位置调整构件，所述位置调整构件基于所述假想位置信息和由所述检测构件检测到的所述第一掩模标记、所述第二掩模标记及所述第一基板标记的位置信息，进行所述基板和所述掩模的相对位置调整。

7.如权利要求6所述的对准装置，其特征在于，

所述设定构件在所述检测构件未能检测到所述第二基板标记的情况下设定所述假想位置信息。

8.如权利要求7所述的对准装置，其特征在于，

在所述检测构件能够检测到所述第二基板标记的情况下，所述位置调整构件基于由所述检测构件检测到的所述第一掩模标记、所述第二掩模标记、所述第一基板标记以及所述第二基板标记的位置信息，进行所述基板和所述掩模的相对位置调整。

9.如权利要求6所述的对准装置，其特征在于，

所述对准装置还具备显示部，所述显示部显示基于由所述设定构件设定的所述假想位置信息的假想标记。

10.如权利要求6所述的对准装置，其特征在于，

所述检测构件是以与所述第一掩模标记和所述第二掩模标记分别对应的方式设置的多个照相机。

11.如权利要求6所述的对准装置，其特征在于，

在所述掩模上设置有多个所述第一掩模标记，

在所述基板上，以与多个所述第一掩模标记分别对应的方式设置有多个所述第一基板标记，

所述设定构件基于由所述检测构件检测到的多个所述第一基板标记的位置信息，设定所述假想位置信息。

12.如权利要求6所述的对准装置，其特征在于，

所述设定构件基于由所述检测构件检测到的所述第一基板标记的位置信息以及角度信息，设定所述假想位置信息。