[发明专利]一种用于硫酸-过硫酸盐体系微蚀剂的降速添加剂在审
申请号: | 202110479016.5 | 申请日: | 2021-04-29 |
公开(公告)号: | CN113201737A | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 何康;李荣;侯阳高;杨泽;马斯才 | 申请(专利权)人: | 深圳市贝加电子材料有限公司 |
主分类号: | C23F1/18 | 分类号: | C23F1/18;C23G1/06;C23G1/10;H05K3/06 |
代理公司: | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人: | 龙丹丹 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本发明公开了一种用于硫酸‑过硫酸盐体系微蚀剂的添加剂,包括具有式I结构的二酸类物质及其二酸盐: |
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搜索关键词: | 一种 用于 硫酸 硫酸盐 体系 微蚀剂 添加剂 | ||
【主权项】:
暂无信息
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