[发明专利]一种用于硫酸-过硫酸盐体系微蚀剂的降速添加剂在审
| 申请号： | 202110479016.5 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113201737A | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 何康;李荣;侯阳高;杨泽;马斯才 | 申请（专利权）人： | 深圳市贝加电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23G1/06;C23G1/10;H05K3/06 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 龙丹丹 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硫酸 硫酸盐 体系 微蚀剂 添加剂 | ||
1.一种用于硫酸-过硫酸盐体系微蚀剂的添加剂，其特征在于，包括具有式I结构的二酸类物质和/或其二酸盐：
2.根据权利要求1所述的用于硫酸-过硫酸盐体系微蚀剂的添加剂，其特征在于，所述二酸盐为钠盐、钾盐、铵盐、有机胺盐中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的用于硫酸-过硫酸盐体系微蚀剂的添加剂，其特征在于，式I中，X为氢、C1-C4烃基、羧基、羟基或者卤素基团，n为1-6的正整数。
4.根据权利要求1所述的用于硫酸-过硫酸盐体系微蚀剂的添加剂，其特征在于，所述二酸类物质为丙二酸、丁二酸、戊二酸、己二酸、2-甲基-丁二酸、2,2-二甲基-丁二酸、氯丁二酸、D-苹果酸、L-苹果酸、D，L-苹果酸中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的用于硫酸-过硫酸盐体系微蚀剂的添加剂，其特征在于，以质量百分比计，所述添加剂的含量为微蚀剂总量的0.1-7％。
6.根据权利要求1所述的用于硫酸-过硫酸盐体系微蚀剂的添加剂，其特征在于，所述添加剂为固态添加剂或由固态添加剂配制成的溶液。
7.根据权利要求6所述的用于硫酸-过硫酸盐体系微蚀剂的添加剂，其特征在于，所述溶液包括所述添加剂，还包括溶剂，所述溶剂为水、甲酰胺、乙酰胺、甲醇、乙醇、异丙醇、二甲亚砜中的至少一种。
8.根据权利要求7所述的用于硫酸-过硫酸盐体系微蚀剂的添加剂，其特征在于，所述溶液中，所述添加剂的质量浓度为0.1％-10％。
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